[发明专利]一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器有效
| 申请号： | 201310014595.1 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103048359A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 高仁璟;赵剑;张彦康;张永存;刘书田 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 迂回 通道 悬臂梁 液体 浓度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体（1）、悬臂梁（2）、激励压电薄膜（3）、检测压电薄膜（4），所述悬臂梁（2）一端固定在基体（1）上，另一端自由悬空，悬臂梁（2）上表面设有激励压电薄膜（3），悬臂梁（2）下表面设有检测压电薄膜（4），其特征在于：所述悬臂梁（2）内部设有用于检测的迂回通道（21），所述悬臂梁（2）固定端设有通道（21）的入口和出口。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述通道（21）为若干个W型通道连接组成、若干个S型通道连接组成或若干个Z型通道连接组成。
3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述激励压电薄膜（3）长度小于悬臂梁（2）长度。
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：所述检测压电薄膜（4）长度小于悬臂梁（2）长度。
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