[发明专利]一种光电探测器频率响应测量装置及其测量方法

权利要求书

1.一种光电探测器频率响应测量装置，其特征在于，包括半导体激光器（1）、偏振控制器（2）、电光调制器（3）、微波信号源（4）、波长可调谐激光器（5）、光耦合器（6）、待测光电探测器（7）、频谱分析仪（8）；所述半导体激光器（1）、偏振控制器、电光调制器、光耦合器与待测光电探测器之间依次光路连接，所述波长可调谐激光器光路连接电光调制器；所述微波信号源与电光调制器之间为电路连接；所述待测光电探测器与频谱分析仪之间为电路连接。

2.根据权利要求1所述的光电探测器频率响应测量装置，其特征在于，所述波长可调谐激光器(5)为半导体波长可调谐激光器或为光纤波长可调谐激光器。

3.根据权利要求1或2所述的光电探测器频率响应测量装置，其特征在于，所述电光调制器(3)为电光强度调制器或为电光相位调制器。

4.一种采用权利要求1的光电探测器频率响应测量装置的频率响应测量方法，其特征在于，包括以下步骤，

①半导体激光器（1）输出的光波经偏振控制器（2）输入到电光调制器（3），由微波信号源（4）输出的微波信号经由电光调制器（3）调制到光载波上，调制后的光信号与波长可调谐激光器输出的光信号通过光耦合器入射到待测光电探测器，待测光电探测器的输出信号进入频谱分析仪中进行测量。

②使半导体激光器输出光波的频率为ω₁，使波长可调谐激光器输出光波的频率为ω₂，ω₁>ω₂，使微波信号的调制频率为ω_m；在频谱分析仪上，将会观测到半导体激光器中心载波、-1阶微波调制边带、+1阶微波调制边带分别与波长可调谐激光器(5)中心载波的拍频信号，三个拍频信号的频率分别为ω₁-ω₂、ω₁-ω₂+ω_m和ω₁-ω₂-ω_m，并且ω₁-ω₂>ω_m，测量频率为ω₁-ω₂+ω_m和频率为ω₁-ω₂-ω_m的拍频信号的幅度之比，此即待测光电探测器在两个频点的频率响应之比，通过改变微波调制频率ω_m或者波长可调谐激光器输出光波的频率ω₂，重复测量频率为ω₁-ω₂+ω_m和ω₁-ω₂-ω_m的信号幅度之比，即可得到待测光电探测器在不同频率的响应特性。