[发明专利]激光光线的光点形状检测方法以及光点形状检测装置

权利要求书

1.一种激光光线的光点形状检测方法，对由激光光线振荡构件振荡出并由聚光器会聚的激光光线的光点形状进行检测，

该激光光线的光点形状检测方法的特征在于包括：

透明基板定位步骤，将在表面形成有细微棱镜的透明基板以能够在与由聚光器会聚的激光光线的光轴即Z轴方向垂直的X轴方向以及与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向上移动的方式，定位到Z轴上，其中，该细微棱镜的大小比会聚光点的大小小；

激光光线照射步骤，通过该聚光器对不能对该透明基板进行加工的输出的激光光线进行会聚并照射到形成于该透明基板的细微棱镜所处的区域；

光强检测步骤，在对形成于该透明基板的细微棱镜所处的区域照射了激光光线的状态下，在使该透明基板相对于该聚光器在X轴方向和Y轴方向上相对移动的同时通过光强检测构件检测由形成于该透明基板的细微棱镜折射后的光的光强；以及

光强映射图生成步骤，生成在该光强检测步骤中检测到的细微棱镜的x、y坐标值处的光强映射图，

该光点形状检测方法还包括：光点形状图像形成步骤，使该聚光器定位于Z轴方向的多个检测位置而实施该光强检测步骤和该光强映射图生成步骤，根据在该光强映射图生成步骤中生成的多个光强映射图，生成激光光线的光点形状图像；以及显示步骤，在显示构件中显示通过该光点形状图像形成步骤生成的光点形状图像。

2.一种激光光线的光点形状检测装置，其对由激光光线振荡构件振荡出并由聚光器会聚的激光光线的光点形状进行检测，

该激光光线的光点形状检测装置的特征在于具有：

透明基板，其配设在由聚光器会聚的激光光线的光轴即Z轴上，且在表面形成有细微棱镜，该细微棱镜的大小比会聚光点的大小小；

X轴方向移动构件，其使该透明基板在与Z轴方向垂直的X轴方向上移动；

Y轴方向移动构件，其使该透明基板在与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向上移动；

Z轴方向移动构件，其使该聚光器在Z轴方向上移动；

X轴方向位置检测构件，其对形成于该透明基板的细微棱镜的X轴方向位置进行检测；

Y轴方向位置检测构件，其对形成于该透明基板的细微棱镜的Y轴方向位置进行检测；

Z轴方向位置检测构件，其对该聚光器的Z轴方向位置进行检测；

光强检测构件，其对由形成于该透明基板的细微棱镜折射后的光的光强进行检测；

控制构件，其根据来自该光强检测构件、该X轴方向位置检测构件、该Y轴方向位置检测构件以及该Z轴方向位置检测构件的检测信号，求出激光光线的光点形状；以及

显示构件，其对由该控制构件求出的激光光线的光点形状进行显示，

该控制构件执行如下步骤：

激光光线照射步骤，使该激光光线振荡构件工作，通过该聚光器对不能对该透明基板进行加工的输出的激光光线进行会聚并照射到形成于该透明基板的细微棱镜所处的区域；

光强检测步骤，在对形成于该透明基板的细微棱镜所处的区域照射了激光光线的状态下，使该X轴方向移动构件和该Y轴方向移动构件工作，在使该透明基板相对于该聚光器在X轴方向和Y轴方向上相对移动的同时通过光强检测构件检测由形成于该透明基板的细微棱镜折射后的光的光强；

光强映射图生成步骤，生成在该光强检测步骤中检测到的细微棱镜的x、y坐标值处的光强映射图；

光点形状图像形成步骤，使该聚光器定位于Z轴方向的多个检测位置而实施该光强检测步骤和该光强映射图生成步骤，根据在该光强映射图生成步骤中生成的多个光强映射图，生成激光光线的光点形状图像；以及

显示步骤，在该显示构件中显示通过该光点形状图像形成步骤生成的光点形状图像。

3.根据权利要求2所述的激光光线的光点形状检测装置，其中，

该透明基板由石英基板构成，该细微棱镜形成于石英基板上。

4.根据权利要求2或3所述的激光光线的光点形状检测装置，其中，

该光强检测构件由以下部件构成：成像镜头（1），其定位于由形成于该透明基板的细微棱镜折射的光的光轴上；以及光检测器，其捕捉由该成像镜头成像后的光。