[发明专利]等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其对设置在处理容器内的上部电极与下部电极之间施加高频电力而使处理气体等离子体化，利用该等离子体对被处理体进行等离子体处理，其特征在于，

该等离子体处理装置具有：

接地构件，其以绝缘构件介于其与上述上部电极之间的方式设置在上述上部电极的上方；以及

直流电源，其用于对上述上部电极施加负的直流电压；

在上述上部电极的内部设有与设置在上部电极的下表面的气体供给口相连通的气体扩散室；

在上述绝缘构件的内部形成有与上述气体扩散室相连通的气体流通路径；

在上述气体流通路径上设有弯曲部，该弯曲部以俯视看来不能从该气体流通路径的一端部观察到另一端部的方式设置，用于使在该气体流通路径内流动的气体向至少具有水平分量的方向流动，

通过将妨碍处理气体在上述气体流通路径内直线行进的整流构件设置在该气体流通路径的内部而形成上述气体流通路径的弯曲部，

该等离子体处理装置具有用于使上述整流构件在上述气体流通路径的内部移动的驱动机构，以根据情况对上述气体流通路径的压力损失进行调整。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，

在上述气体供给口与上述气体扩散室之间设有用于使该气体供给口与气体扩散室之间的管路阻力增加的阻力部。

3.根据权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

上述上部电极由与被处理体相对的电极板和设置于该电极板的上表面的电极支承体构成，上述阻力部设置于上述电极支承体。

4.根据权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

上述上部电极由与被处理体相对的电极板和设置于该电极板的上表面的电极支承体构成，上述阻力部设置在上述电极板侧。