[发明专利]基于固体液体组合靶材的极紫外光源产生装置及光源系统

权利要求书

1.一种极紫外光源产生装置，其特征在于，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；

所述固体靶材位于所述聚焦透镜的焦平面上，所述器皿用于放置所述液体靶材，所述器皿位于所述固体靶材的下方，所述固体靶材部分浸入所述液体靶材中；温度控制器用于给所述器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于所述固体靶材的中心，所述电机与所述轴承相连，所述电机用于驱动所述固体靶材绕所述轴承转动，所述固体靶材转动时粘附液体靶材；

工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。

2.如权利要求1所述的极紫外光源产生装置，其特征在于，所述固体靶材为圆盘状，圆盘的中心与轴承机械相连。

3.如权利要求1所述的极紫外光源产生装置，其特征在于，所述固体靶材的熔点高于所述液体靶材的熔点。

4.如权利要求1-3任一项所述的极紫外光源产生装置，其特征在于，所述液体靶材的材料为锡。

5.如权利要求4所述的极紫外光源产生装置，其特征在于，所述固体靶材的材料为铜、铁或不锈钢。

6.一种光源系统，包括脉冲激光器、激光放大器、真空腔室、收集镜和极紫外光源产生装置，其特征在于，所述极紫外光源产生装置为权利要求1-5任一项所述的极紫外光源产生装置。

7.如权利要求6所述的光源系统，所述收集镜为镀有多层膜的椭球面镜。