[发明专利]降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统

权利要求书

1.降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，包括全息图拍摄光路、空间光调制器（10）、待测样品（11）、图像传感器（13）和计算机（14），其特征在于：所述全息图拍摄光路中的参考光直接入射到所述图像传感器（13），所述全息图拍摄光路中的物光经过所述空间光调制器（10）、待测样品（11）后入射到所述图像传感器（13），图像传感器（13）与空间光调制器（10）均与所述计算机（14）相连，在计算机（14）提供的不同相位信息控制下，空间光调制器（10）加载不同的随机相位掩模板，每加载一次随机相位掩模板，控制图像传感器（13）记录一次全息图，连续自动获取多幅全息图，并将所有全息图的再现像叠加。

2.降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，其特征在于：所述全息图拍摄光路由激光器（1），衰减器（2），半波片（3），偏振分束棱镜（4），扩束准直器（5），反射镜（6），分束棱镜（7），衰减器（8），反射镜（9），合束晶体（12）组成，所述器件中，激光器（1）出射端依次装配衰减器（2）和半波片（3），激光器（1）的出射光束与衰减器（2）和半波片（3）元件垂直，半波片（3）的出射光束垂直入射偏振分束棱镜（4），偏振分束棱镜（4）前方安装扩束准直器（5），扩束准直器（5）的出射光束以45°入射反射镜（6），反射镜（6）下方装配分束晶体（7），分束晶体（7）的左侧安装衰减器（8），衰减器（8）左侧安装倾斜45°安装的反射镜（9），分束晶体（7）的下方倾斜45°安装所述空间光调制器（10），在空间光调制器（10）左侧放置所述待测样品（11），在样品左侧平行放置合束晶体（12），且合束晶体（12）与反射镜（9）的反射光束正交安装，在合束晶体（12）下方放置所述图像传感器（13）。

3.如权利要求2所述的降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，其特征在于：所述合束晶体（12）倾角可调，并使得入射到图像传感器（13）的所述参考光和物光有2°～5°范围的可调夹角。

4.如权利要求1-3中任一项所述的降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，其特征在于：所述空间光调制器（10）为纯相位反射式空间光调制器，且光束尺寸均大于待测样品（11）的检测区域。

5.如权利要求2或3所述的降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，其特征在于：所述激光器（1）采用单纵模激光光源，波长为532nm，输出光功率为300mw。

6.如权利要求1-3中任一项所述的降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，其特征在于：所述空间调制器（10）采用分辨率为1920×1080像素，像元尺寸为8μm×8μm的纯相位空间调制器，其线性调制范围为0-2π。

7.如权利要求1-3中任一项所述的降低散斑噪声的全固态数字全息成像系统，其特征在于：所述图像传感器（13）采用CCD为4016×2672像素，像原尺寸为9μm×9μm的CCD相机。