[发明专利]水晶振动片及水晶元件

说明书

技术领域

本发明涉及一种激发厚度滑移振动(thickness shear vibration)的水晶振动片、及包含该水晶振动片的水晶元件(quartz crystal device)。

背景技术

人类使用有AT切割水晶振动片的水晶元件中，既存在对水晶元件的基底基板直接施加应力的水晶元件，也存在即便在热膨胀等时仍对水晶振动片施加应力的水晶元件。对这些水晶振动片赋予的应力会对振荡频率带来影响，从而对老化(aging)特性或频率温度特性等诸特性带来不良影响。因此，为了消除对振荡频率带来影响的应力的传递，而提出了专利文献1的发明。

专利文献1公开的安装在水晶元件上的水晶振动片中，是在相对于特定的结晶轴具有规定的旋转角的直线上配置着2个支撑电极。具体来说，专利文献1的AT切割水晶振动片中，在与作为其结晶轴的X轴具有60°或120°的旋转角的直线上，形成有至少一对连结框体和振动片的连结部。而且，AT切割水晶振动片的连结部上分别配置着一对引出电极。沿着具有该旋转角的直线而附加的应力的灵敏度比率变得极小，从而AT切割水晶振动片的振荡频率所受到的应力影响变得极小。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2007-243681号公报

然而，如果以湿式蚀刻(wet etching)形成专利文献1中所描述的AT切割水晶振动片，那么，由于只有连结部相对于框体或AT切割水晶振动片倾斜，所以，连结部和框体的锐角区域、或连结部和AT切割水晶振动片的锐角区域，实际上无法准确地加工。

发明内容

因此，本发明提供如下水晶振动片：连结部与框体或AT切割水晶振动片正交，并且，连结部与作为AT切割水晶振动片的结晶轴的X轴具有61°或119°的旋转角。

第1形态的水晶振动片是包含矩形状的激振部的AT切割水晶振动片，所述激振部具有结晶轴X、结晶轴Y′及结晶轴Z′。而且，水晶振动片包括：框体，在激振部的周围隔开规定的空隙而形成；连结部，连结激振部和框体；一对激振电极，配置在激振部的两主面上；以及一对引出电极，从激振电极经由连结部而延伸到框体。激振部的长边是相对于结晶轴X旋转61°或119°而形成，框体的长边相对于结晶轴X向61°或119°方向延伸，连结部相对于结晶轴X向61°或119°方向延伸，且与激振部的短边及框体的短边正交。

第2形态的水晶振动片的连结部只有一根，且一对引出电极是：以从主面的法线方向观察时，不与一根连结部重合的方式而形成。

在第3形态的水晶振动片中，连结一根连结部和激振电极的中央的直线是：相对于结晶轴X而为61°或119°方向。

在第4形态的水晶振动片中，框体及连结部的Y′轴方向的厚度比激振部的Y′轴方向的厚度还厚。

在第5形态的水晶振动片中，在激振部的一部分形成阶差面，且阶差面是：由所述激振部的厚度变为连结部的厚度。

第6形态的水晶元件包含第1形态至第5形态中任一形态的水晶振动片。而且，水晶元件包括：矩形状的基底部，由玻璃材料形成，且接合于框体的主面的一方；及矩形状的盖部，由玻璃材料形成，且接合于框体的主面的另一方。

第7形态的水晶元件包含第1形态至第5形态中任一形态的水晶振动片。而且，水晶元件包括：矩形状的基底部，由AT切割水晶材料形成，且接合于框体的主面的一方；及矩形状的盖部，由AT切割水晶材料形成，且接合于框体的主面的另一方。基底部及盖部的长边是相对于结晶轴X旋转61°或119°而形成。

发明的效果

根据本发明的水晶振动片及水晶元件，可避免由对封装体施加的应力及因热膨胀等，而导致对激振部赋予的应力所引起的频率特性的变动。

附图说明

图1是第1水晶元件100的分解立体图。

图2(a)是第1水晶元件100的剖视图。

图2(b)是水晶振动片30的俯视图。

图3(a)是水晶振动片30的剖视图。

图3(b)是变形例的水晶振动片30A的剖视图。

图4(a)～(d)是表示水晶振动片30的制造方法的流程图。

图5(a)～(d)是表示水晶振动片30的制造方法的流程图。

图6是水晶振动片晶片30W的俯视图。

图7是盖晶片10W的俯视图。

图8是基底晶片20W的俯视图。

图9是第2水晶元件200的分解立体图。

图10(a)是第2水晶元件200的剖视图。