[发明专利]正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件有效
| 申请号： | 201310016907.2 | 申请日： | 2009-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103091987B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 松谷宽;上野巧;亚历山大·尼古拉;山下幸彦;七海宪;谷本明敏 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图形 制造 方法 半导体 装置 以及 电子器件 | ||
【权利要求书】：
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