[发明专利]一种铸造多晶硅锭的热场结构无效
| 申请号： | 201310017396.6 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103014835A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 孙海知;邢国强;郭宽新;潘欢欢;宋江 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铸造 多晶 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种铸造多晶硅锭的热场结构，其特征在于：包括石英坩埚（1）、隔热板（2）、侧加热器（9）、侧隔热层（6）、热交换台（5），所述的石英坩埚（1）设于热交换台（5）上，所述的石英坩埚（1）四周设有隔热板（2），所述的隔热板（1）外侧设有侧隔热层（6），隔热板（2）固定在侧隔热层（6）底部，所述的石英坩埚（1）上部设有上隔热层（7），下部设有下隔热层（8），所述的隔热板（2）与侧隔热层（6）中间设有侧加热器（9），所述的上隔热层（7）与石英坩埚（1）之间设有上加热器（10）。
2.根据权利要求1所述的一种铸造多晶硅锭的热场结构，其特征在于：所述的隔热板（2）为环形结构。
3.根据权利要求1所述的一种铸造多晶硅锭的热场结构，其特征在于：所述的隔热板（2）其外壁与侧加热器（9）之间的距离大于1cm，其内壁与石英坩埚（1）外壁之间的距离小于5cm。
4.根据权利要求1所述的一种铸造多晶硅锭的热场结构，其特征在于：所述的石英坩埚（1）外壁设有坩埚护板（12）。
5.根据权利要求1所述的一种铸造多晶硅锭的热场结构，其特征在于：所述的隔热板（2）也可以单独设置升降机构。
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