[发明专利]一种激光干涉光刻系统

权利要求书

1.一种激光干涉光刻系统，包括激光器（1）、反射镜、分束器（2）、基底台（3）和基底（4）；激光器（1）出射的激光经反射镜、分束器（2）后分为两束干涉光束，两束干涉光束经反射镜在基底台（3）承载的基底（4）上实现合光干涉，干涉图形通过基底曝光实现图形记录转移；其特征在于：所述系统还包括一个图形锁定系统，该图形锁定系统包括两个光束采样器（5）、零差相位计（6）、电子信号处理部件（7）、控制器（8）、驱动器（9）和相位调制执行器（10）；所述的两个光束采样器（5）分别位于靠近基底处的两束干涉光路上，两个光束采样器（5）分别采取两束干涉光路上的一部分光，其中一束为参考光，另一束为测量光，参考光与测量光分别从两个入口入射至零差相位计（6）中，光信号经零差相位计（6）处理后，输出包含干涉条纹相位信息的电信号，电信号经电子信号处理部件（7）后输入至控制器（8），控制器（8）输出控制信号至驱动器（9），驱动器（9）驱动相位调制执行器（10）；当干涉光刻系统的图形发生漂移时，利用该图形锁定系统控制图形漂移实现图形锁定。

2.根据权利要求1所述的一种激光干涉光刻系统，其特征在于：所述基底台（3）相对于干涉图形运动，由设置在基底台（3）上的位移测量装置（31）检测基底台（3）的运动位移并反馈至控制器（8），控制器（8）对零差相位计（6）与位移测量装置（31）的反馈信息进行处理，同时控制相位调制执行器（10）和基底台（3）实现干涉图形相对于运动的基底台（3）锁定。

3.根据权利要求1或2所述的一种激光干涉光刻系统，其特征在于：所述的测量光和参考光分别从零差相位计（6）的两个入口入射，传播光路为：测量光经第一四分之一波片（62a）、分光镜（61）后一束透射，另一束反射；参考光经第二四分之一波片（62b）、第一分光镜（61）后一束透射，另一束反射；测量光的反射光和参考光的透射光形成第一束合光，测量光的透射光和参考光的反射光形成第二束合光；第一束合光经第一偏振分光镜（63a）后，透射的p光入射至第一光电探测器（65a），反射的s光入射至第二光电探测器（65b）；第二束合光经半波片（64）、第二偏振分光镜（63b）后，透射的p光入射至第三光电探测器（65c），反射的s光入射至第四光电探测器（65d）；经四个光电探测器转换后形成四路相位相差90°的余弦电信号，输入至电子信号处理部件（7）。

4.根据权利要求1或2所述的一种激光干涉光刻系统，其特征在于：所述的测量光和参考光分别从零差相位计（6）的两个入口入射，传播光路为：测量光经分光镜（61）后一束透射，另一束反射；参考光经分光镜（61）后一束透射，另一束反射；测量光的反射光和参考光的透射光形成第一束合光，测量光的透射光和参考光的反射光形成第二束合光；第一束合光经第一四分之一波片（62a）、第一偏振分光镜（63a）后，透射的p光入射至第一光电探测器（65a），反射的s光入射至第二光电探测器（65b）；第二束合光经第二四分之一波片（62b）、第三四分之一波片（62c）、第二偏振分光镜（63b）后，透射的p光入射至第三光电探测器（65c），反射的s光入射至第四光电探测器（65d）；经四个光电探测器转换后形成四路相位相差90°的余弦电信号，输入至电子信号处理部件（7）。

5.根据权利要求1或2所述的一种激光干涉光刻系统，其特征在于：所述的测量光和参考光分别从零差相位计（6）的两个入口入射，传播光路为：测量光经第一半波片（64a）、分光镜（61）后一束透射，另一束反射；参考光经第二半波片（64b）、分光镜（61）后一束透射，另一束反射；测量光的反射光和参考光的透射光形成第一束合光，测量光的透射光和参考光的反射光形成第二束合光；第一束合光经第一偏振分光镜（63a）后，透射的p光入射至第一光电探测器（65a），反射的s光入射至第二光电探测器（65b）；第二束合光经四分之一波片（62）、第二偏振分光镜（63b）后，透射的p光入射至第三光电探测器（65c），反射的s光入射至第四光电探测器（65d）；经四个光电探测器转换后形成四路相位相差90°的余弦电信号，输入至电子信号处理部件（7）。