[发明专利]抗变形排孔显影喷嘴及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201310018548.4 申请日: 2013-01-18
公开(公告)号: CN103116251A 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 刘学平;王汉;向东;牟鹏;段广洪 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 代理人: 李保明;张慧芳
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 变形 显影 喷嘴 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种抗变形排孔显影喷嘴,包括条状的主体(10)、设置在主体内的主流道(10a)、与主流道连通用于导入显影液的进液孔(10b)、以及与主流道连通用于喷出显影液的若干分流道(10c),其特征在于:所述主体(10)由条状的功能部件(2)和条状的辅助部件(1)组成,所述功能部件(2)沿长边方向设置贯通两个端面(2b和2c)的通孔(2a),并在通孔(2a)的口部安装堵头围成所述主流道,主流道一侧设置所述若干分流道(10c),主流道另一侧的中部设置进液孔(10b)的第一孔部(10b1),所述辅助部件(1)通过若干螺钉(3)紧固且贴合在功能部件(2)上与所述分流道相对的一侧,辅助部件设置进液孔(10b)的第二孔部(10b2),第一孔部和第二孔部共轴。

2.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴,其特征在于:所述功能部件和辅助部件的结合面设置止口结构(2d和1a)。

3.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴,其特征在于:所述若干分流道沿所述功能部件的长边方向按一列排列,从分流道队列的中部起到两端,分流道的分布逐渐变得密集,且分流道的直径逐渐增大。

4.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴,其特征在于:所述功能部件由耐腐蚀工程塑料制成,所述辅助部件由钢材制成。

5.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴,其特征在于:所述第二孔部(10b2)内过盈配合安装耐腐蚀金属套筒(4)。

6.根据权利要求1所述的抗变形排孔显影喷嘴,其特征在于:所述若干螺钉(3)分为两排,分别间隔地设置在主体(10)顶面的两条长边处,其中,与进液孔(10b)靠近的两个螺钉分别设置在喷嘴长边方向的中心线(L1)的左右两侧。

7.一种抗变形排孔显影喷嘴的制备方法,其特征在于:首先加工功能部件的毛坏和辅助部件,通过螺钉将它们固定为一体,再在功能部件的毛坏上加工主流道以及分流道,然后在功能部件的毛坏上加工分流道出口端所在的平面。

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