[发明专利]制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统

权利要求书

1.制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统，其特征在于从左至右依次设有激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板；所述激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板设于同一光轴上，激光器发出的激光经过空间滤波器的扩束后照射到全息光学元件上，经全息光学元件产生4束相干的干涉光束，1/2波片置于全息光学元件的中央出光口之后，4束光重叠干涉在光刻胶板上，在光刻胶板上对4束光重叠的干涉结构进行单次曝光，经过显影的流程即可得到拥有三维密排晶格阵列结构的光子晶体。

2.如权利要求1所述制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统，其特征在于所述全息光学元件设有3片衍射光栅和1个中央孔洞的衍射光学元件，所述3片衍射光栅用螺丝夹持，每个衍射光栅都可以进行替换。

3.如权利要求1所述制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统，其特征在于所述激光器采用功率可调的氩离子激光器。