[发明专利]一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置无效
申请号: | 201310019893.X | 申请日: | 2013-01-18 |
公开(公告)号: | CN103118478A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 郝胜智;李向南;彭艳芳;张艳龙 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 李宝元;梅洪玉 |
地址: | 116024*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 脉冲 放电 口径 等离子体 发生 装置 | ||
1.一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置,包括高压脉冲功率电源(8)、时序控制电路(9)、潘宁阳极(5)、阴极(7)、磁场线圈(4)、真空室(1)和进气管路(10);其特征在于:时序控制电路(9)控制高压脉冲功率电源(8)的开启动作,分别为磁场线圈(4)和潘宁阳极(5)提供各自独立的高压输出;阴极(7)与工作台(2)相对放置于真空室(1)轴线上,潘宁阳极(5)位于阴极(7)与工作台(2)中间并保持同轴;磁场线圈(4)由两个平行放置的密绕线圈组成,提供沿潘宁阳极(5)轴线的约束磁场,两线圈提供的工作磁场极性一致;通过下述设定值获得直径Φ60-120mm的放电等离子体(6):磁场线圈(4)电压5000V,磁场强度~5000Gs,潘宁放电电压~7500V,放电持续时间~500μs,重复工作频率0.5Hz。
2.根据权利要求1所述的一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置,其特征在于,所述的阴极(7)与潘宁阳极(5)端面间距20~80mm。
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