[发明专利]一种气体控制系统及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及自动控制领域，特别涉及一种气体控制系统及其方法。

背景技术

液体脉冲缓冲器适用于一种应用在半导体、微电子、太阳能等行业的工艺流程中需要间歇、安全、稳定的供应化学品等液体到使用机台的化学品供应系统中。

而现有技术中的液体脉冲缓冲器本身是依靠持续供给稳定压力的气体来稳定经过缓冲器的液体的压力的。化学品供应系统每天24小时需要多次较短时间的供应化学品到生产设备，因此，所有的设备都必须处于开机状态。

本申请发明人在实现本申请实施例技术方案的过程中，至少发现现有技术中存在如下技术问题：

由于所有的设备都必须处于开机状态，所以，存在着液体脉冲缓冲器的进气口会一直处于开启状态，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题；

由于存在上述技术问题，缓冲器的风囊会长期震荡，还会导致风囊变形而损坏缓冲器。

发明内容

本申请实施例提供一种气体控制系统，可以解决现有技术中化学品供应系统的液体脉冲缓冲器的进气口会一直处于开启状态，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题的技术问题。

为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种气体控制系统，该气体控制系统包括：

机台设备，用于在需要液体时，生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号；

控制器，与所述机台设备连接，用于接收所述第一控制信号及所述第二控制信号；

液体供应系统，分别与所述机台设备的进液管道及所述控制器连接，所述液体供应系统还分别与一气体源装置及一液体源装置连接，其中：

当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备；

当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号后，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备。

优选地，所述气体控制系统还包括：

一阀控制箱，分别与所述控制器、所述液体供应系统以及所述机台设备连接，所述阀控制箱具有与所述机台设备相对应的阀门；

其中，当所述阀控制箱接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，以使所述阀门处于开启状态，当所述阀控制箱接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述阀门处于关闭状态。

优选地，所述控制器具体为可编程逻辑输入输出控制板。

优选地，所述液体供应系统具体包括：

液体脉冲缓冲器，具有一进气口、进液口、出液口；

进气控制装置，分别与所述气体源装置、所述进气口连接；

进液控制装置，分别与所述液体源装置、所述进液口连接；

液体输出装置，分别与所述出液口、所述机台设备连接；

其中，当所述进液控制装置接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置中的液体通过所述进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，再通过所述出液口输送到所述液体输出装置，所述液体输出装置再将所述液体输送到所述机台设备，同时，所述进气控制装置会控制所述进气口打开，以使所述气体源装置中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器内，以保持所述液体脉冲缓冲器内的液体压力符合所述预设条件；

当所述进液控制装置接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置停止将所述液体通过所述进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，同时，所述进气控制装置会控制所述进气口关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器内。

优选地，所述进气控制装置具体为一电磁阀，通过所述电磁阀的通电与断电来控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口的打开与关闭。

优选地，所述进气控制装置还包括：

一流量监控装置，连接在所述进气控制装置与所述进气口之间，用于监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置是否损坏。