[发明专利]一种外排氨水回用系统

权利要求书

1.一种外排氨水回用系统，用于太阳能电池板的制造，包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置，

所述PECVD废气处理装置包括：第一吸附箱（11）；

用于排出PECVD工序产生的废气，且与所述第一吸附箱（11）相连通的第一进气管（12）；

加水箱（13）；

用于向所述加水箱（13）内加水，且设置有第一进水阀（141）的第一进水管（14）；

连通所述加水箱（13）以及所述第一吸附箱（11）的第一输入管（15）；

连通所述加水箱（13）以及所述第一吸附箱（11）的第一输出管（16）；

设置于所述第一输入管（15）上的第一循环泵（151）；

所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括：第二吸附箱（21）；

用于排出制绒、湿法刻蚀废气产生的废气，且与所述第二吸附箱（21）相连通的第二进气管（22）；

加药箱（23）；

连通所述加药箱（23）以及所述第二吸附箱（21）的第二输入管（25）；

连通所述加药箱（23）以及所述第二吸附箱（21）的第二输出管（26）；

设置于所述第二输入管（25）上的第二循环泵（251），

其特征在于，还包括：氨水存储罐（31）；

用于排放所述PECVD废气处理装置产生的氨水的氨水回收管（32），且所述氨水回收管（32）与所述氨水存储罐（31）相连通，所述氨气回收管（32）上设置有回收阀门（321）；

连通所述加药箱（23）与所述氨水存储罐（31），且用于向所述加药箱（23）内加放氨水的加药管（33），所述加药管（33）上设置有加药阀门（331）；

用于排放所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置产生的废水的废水外排管（34），所述废水外排管（34）上设置有排水阀门。

2.根据权利要求1所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述加药管（33）上设置有氨水供应泵（332），且所述废水外排管（34）上设置有排水泵。

3.根据权利要求1所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述氨水存储罐（31）的最低点高于所述加药箱（23）的最高点。

4.根据权利要求1所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述第一循环泵（151）、所述第二循环泵（251）、所述氨水供应泵（332）以及所述排水泵中至少有一个为耐酸泵。

5.根据权利要求1所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述第一输入管（15）与所述第一吸附箱（11）连接处设置有喷淋头。

6.根据权利要求1所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述第二输入管（25）与所述第二吸附箱（21）连接处设置有喷淋头。

7.根据权利要求1所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述氨水存储罐（31）内设置有降温装置。

8.根据权利要求7所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述氨水存储罐（31）内设置有PH检测装置。

9.根据权利要求8所述的外排氨水回用系统，其特征在于，所述加药箱（23）上连通设置有第二进水管（24），且所述第二进水管（24）上设置有第二进水阀（241）。

10.根据权利要求1—8任意一项所述的外排氨水回用系统，其特征在于，包括两个所述PECVD废气处理装置，以及一个所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置。