[发明专利]一种多晶铸锭用高效坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201310022908.8 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103088417A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 颜颉颃;习海平;罗建明;高源;石宗杰;张欣 | 申请（专利权）人： | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 222300 江苏省连云港市东*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 高效 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶铸锭用高效坩埚，包括常规的石英坩埚，其特征在于：所述石英坩埚的底部均匀分布有高纯颗粒。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭用高效坩埚，其特征在于：所述高纯颗粒均匀镶嵌于石英坩埚底部的石英浆料内。
3.根据权利要求2所述的多晶铸锭用高效坩埚，其特征在于：所述高纯颗粒为碳化硅颗粒、石英颗粒或硅颗粒，其粒径为0.5-3mm。
4.根据权利要求3所述的多晶铸锭用高效坩埚，其特征在于：所述高纯颗粒突出石英坩埚底部的高度为1-2mm，高纯颗粒之间的间距为5-10mm，高纯颗粒呈矩阵排列。
5.权利要求1所述的多晶铸锭用高效坩埚的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）按照现有工艺制作石英坩埚；
（2）选取合适的高纯颗粒；
（3）将高纯颗粒均匀的镶嵌于石英坩埚底部的石英浆料内；
（4）采用烧结工艺将高纯颗粒牢牢固定于石英坩埚底部即得。
6.根据权利要求5所述的多晶铸锭用高效坩埚的制备方法，其特征在于：所述高纯颗粒为碳化硅颗粒、石英颗粒或硅颗粒，其粒径为0.5-3mm。
7.根据权利要求5所述的多晶铸锭用高效坩埚的制备方法，其特征在于：所述高纯颗粒突出石英坩埚底部的高度为1-2mm，高纯颗粒之间的间距为5-10mm，高纯颗粒呈矩阵排列。
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