[发明专利]基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试方法及仪器

权利要求书

1.一种基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，包括：标准光源（1）及其稳流源（2），聚光镜（3），积分球（4）及其移动机构，分辨率靶（5），和CCD数据采集和微机处理系统（8），其特征在于：所述分辨率靶（5）设置在所述积分球（4）的均匀漫射出口上。

2.如权利要求1所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：所述的标准光源（1）为溴钨灯，稳流源（2）为精度很高直流电源。

3.如权利要求1所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：所述聚光镜（3）为石英聚光镜。

4.如权利要求3所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：所述标准光源（1）距离所述聚光镜（3）的距离小于聚光镜（3）的焦距。

5.如权利要求1所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：所述积分球（4）是内部涂有无波长选择性的漫反射性的白色涂料的空心球体。

6.如权利要求1所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：所述移动机构是和所述积分球（4）连在一起的金属滑台，其周边标有刻度。

7.如权利要求1所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：待测光纤面板（9）设置所述分辨率靶（5）和所述积分球（4）的均匀漫射出口之间。

8.如权利要求7所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：还包括显微镜观察系统（6），该显微镜观察系统（6）带有CCD接口，其物镜对准所述待测光纤面板（9）。

9.如权利要求1所述的基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试仪器，其特征在于：还包括Z轴移动机构（7），用来调整显微镜物镜Z轴位置。

10.一种基于暗影剔除的光纤面板极限分辨率测试方法，包括如下步骤：

将待测光纤面板（9）设置分辨率靶（5）和积分球（4）的均匀漫射出口之间；

标准光源（1）发出单色光经过聚光镜（3），然后射入所述积分球（4）的一个补偿口；

之后，入射光在所述积分球（4）内发生漫反射再从积分球（4）的另一补偿口射出；

再透射过所述待测光纤面板（9）和分辨率靶（5）到显微物镜，

在任意时刻，所述分辨率靶（5）内任意一点的电位                                                由二维拉普拉斯方程及相应的边界条件决定：

 ；

；

；

其中为分辨率靶（5）的厚度，为分辨率靶（5）表面电位分布，为靶压；

由于有分别满足一个带有齐次边界条件的二维拉普拉斯方线性叠加可以导出其最终表达式为：

，

其中分别为的导出系数，是双曲正弦函数，另外，C为靶的对比度，I为当前光电流，为靶的基准电流；

当某处存在暗影点时该处电势为零，可以唯一确定x、y的坐标。