[发明专利]一种位移和倾角一体化测试仪器

权利要求书

1.一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，包括一个激光器（1），三个光学系统a、b、c（4、5、7），被测面（10），一个反射镜（8），一个分光镜（6），两个光电探测器a、b（2、3），和电路部分，所述的光电探测器a（2）与光学系统c（3）连接并位于中部，半导体激光器（1）与光学系统a（4）连接，位于光电探测器a（2）与光学系统c（7）的一侧，光电探测器b（3）与光学系统b（5）连接，位于光电探测器a（2）与光学系统c（7）的另一侧，所述被测面（10）位于反射镜（8）下方。

2.根据权利要求1所述的一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，所述的一个激光器、三个光学系统、被测面、一个反射镜、一个分光镜、两个光电探测器分别固定有底座。

3.根据权利要求2所述的一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，所述的底座安装于同一块光学平面底板上。

4.根据权利要求1所述的一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，所述的激光器为650nm波长的半导体激光器。

5.根据权利要求1所述的一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，所述的光学系统a是把激光束聚焦于被测面的一点的透镜。

6.根据权利要求1所述的一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，所述的光学系统b是把会聚于被测面上的激光点成像到光电探测器b的感光表面的消像差透镜。

7.根据权利要求1所述的一种位移和倾角一体化测试仪器，其特征在于，所述的光学系统c是把激光束聚焦到焦平面即光电探测器a的感光面的透镜。