[发明专利]一种新型阴极磁钢

说明书

技术领域

本发明涉及一种溅射镀膜的技术领域，尤其涉及一种能够起到束缚电子的新型阴极磁钢。

背景技术

在溅射镀膜中，磁控溅射靶采用静止电磁场，磁场为曲线形，溅射室抽到一定真空度后，阴极加负电压，并通入氩气，在真空室内就会发生辉光放电，电子在电场作用下，加速飞向阳极的过程中与氩原子发生碰撞。若电子具有足够的能量时，则电离出Ar+并产生电子。电子飞向阳极，Ar+在电场作用下加速飞向阴极（溅射靶）并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子（或分子）沉积在基片上形成薄膜，二次电子e1在加速飞向基片时受磁场B的洛仑兹力作用，以摆线和螺旋线状的复合形式在靶表面作圆周运动。该电子e1的运动路线不仅很长，而且被电磁场束缚在靠近靶表面的等离子体区域内。在该区中电离出大量的离子Ar+用来轰击靶材，因此磁控溅射具有沉积速率高的特点。而磁钢的功能就是起到束缚电子，让它作摆线和螺旋线状的复合形式运动，磁钢的均匀性直接影响膜层的均匀性。

图1为现有的一种阴极磁钢的示意图，图2为图1的左视图，请参见图1和图2所示。该阴极磁钢包括有一磁钢组件1，该磁钢组件1焊接了两排共16个固定块，通过固定块和固定环2把磁钢组件1与芯轴4固定在一起，磁钢支撑组件3固定在芯轴4上，以对磁钢组件1起支撑作用。但现有的磁钢刚度不够，简支梁状态下测量的最大变形在2mm左右。为了保证镀膜的均匀性，通过两个磁钢支撑组件来减少磁钢的下垂量，磁钢支撑组件是以靶材内表面作为一个支撑面，但若靶筒不圆的话，磁钢也会随着靶筒的转动上下摆动，而且随着支撑轮的磨损，磁钢的下垂量也在逐渐增大。支撑轮与靶筒有一个相互摩擦，靶筒不圆时会有响声。磁钢是浸泡在冷却水中，虽然表面涂有防锈漆，但时间长后，表面油漆有时会剥落，使磁钢生锈，而且磁钢表面会吸附一些带磁性杂质，影响均匀性。同时，在磁钢组件上焊接的16个固定块对磁钢的均匀性也存在影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型阴极磁钢，以解决现有阴极磁钢刚度不够以及磁钢均匀性存在影响等的问题。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种新型阴极磁钢，其中，包括：

一磁钢组件，所述磁钢组件设置在一支撑座上，通过所述支撑座的刚度支撑所述磁钢组件；

两密封装置，两所述密封装置分别安装在所述磁钢组件的两端，以对所述磁钢组件进行密封。

上述的一种新型阴极磁钢，其中，所述支撑座为一铝型材支撑座，所述支撑座的上部开设有一内腔，所述磁钢组件设置在所述内腔内。

上述的一种新型阴极磁钢，其中，所述密封装置为封板。

上述的一种新型阴极磁钢，其中，还包括有若干连接件，每一所述连接件相互间隔地从所述支撑座的下端贯穿连接至所述磁钢组件，以使得所述磁钢组件悬空固定在所述支撑座的内腔内。

上述的一种新型阴极磁钢，其中，每一所述连接件的下端设置有密封圈进行密封。

上述的一种新型阴极磁钢，其中，还包括两连接板，两所述连接板分别固设在所述支撑座的两端，并且每一所述连接板靠近所述密封装置，以使得所述支撑座安装在外置阴极的端头上。

本发明由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：

（1）通过铝型材支撑座来支撑磁钢组件，有效地提高磁钢组件的整体刚度。

（2）磁钢组件安装在铝型材支撑座的内腔中，与外界接触的地方有封板等密封结构，使得水跟杂货无法进去，保证磁钢组件不会生锈和吸附杂质。

（3）磁钢组件通过螺钉等连接件固定，无需焊接其它零件，有效地提高磁钢的均匀性。

附图说明

图1为现有的一种阴极磁钢的示意图；

图2为图1的左视图；

图3为本发明的一种新型阴极磁钢的示意图；

图4为图3中A-A处的剖视图；

图5为图3中B处的放大图；

图6为图3中C处的放大图；

图7为图3中D处的放大图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。