[发明专利]电压超调对介电失效/击穿的影响的分析实验估计器

权利要求书

1.一种方法，包括：

使用与集成电路器件相连的测试设备测试所述集成电路器件，以便测量当所述集成电路器件的电压超过基础工作电压时发生的电压超调状况，以及测量当所述集成电路器件的电压未超过所述基础工作电压时发生的正常工作状况，所述测试产生历史数据；

使用可访问所述历史数据的计算机化机器确定所述正常工作状况的失效分数，所述失效分数包括在所述正常工作状况期间发生的介电失效的比例；

使用所述计算机化机器计算施加于所述集成电路器件的电压波形的平均超调电压；

使用所述计算机化机器确定所述电压超调状况的失效分数，所述失效分数包括在所述电压超调状况期间经历介电失效的所述集成电路器件的比例，所述电压超调状况的所述失效分数基于所述正常工作状况的所述失效分数和所述平均超调电压；

使用所述计算机化机器确定总失效分数，所述总失效分数包括所述正常工作状况的所述失效分数和所述电压超调状况的所述失效分数的总和；

使用所述计算机化机器将所述总失效分数与可靠性目标进行比较，从而确定所述总失效分数是否可接受；以及

通过所述计算机化机器报告所述总失效分数是否可接受。

2.根据权利要求1的方法，其中确定所述正常工作状况的所述失效分数的步骤在所述集成电路器件的整个有用工作寿命期间执行，所述失效分数包括在所述正常工作状况期间发生的介电失效的比例。

3.根据权利要求1的方法，还包括如果所述总失效分数不可接受，则修改所述集成电路器件的制造工艺。

4.根据权利要求1的方法，还包括如果所述总失效分数不可接受，则修改所述集成电路器件的电路设计。

5.根据权利要求4的方法，其中所述电路设计的所述修改旨在导致不同的电压超调状况。

6.根据权利要求1的方法，其中所述电压超调状况的所述失效分数的确定基于占空因数、加电小时数寿命、最大允许电压、使用温度和栅介电面积。

7.一种方法，包括：

使用与集成电路器件相连的测试设备测试所述集成电路器件，以便测量当所述集成电路器件的电压超过基础工作电压时发生的电压超调状况，以及测量当所述集成电路器件的电压未超过所述基础工作电压时发生的正常工作状况，所述测试产生历史数据；

确定所述集成电路器件的老化时间；

使用可访问所述历史数据和所述集成电路器件的所述老化时间的计算机化机器确定所述正常工作状况的失效分数，所述失效分数包括在所述正常工作状况期间发生的介电失效的比例；

使用所述计算机化机器计算在所述测试期间施加于所述集成电路器件的电压波形的平均超调电压；

使用所述计算机化机器确定所述电压超调状况的失效分数，所述失效分数包括在所述电压超调状况期间经历介电失效的所述集成电路器件的比例，所述电压超调状况的所述失效分数基于所述正常工作状况的所述失效分数和所述平均超调电压；

使用所述计算机化机器确定总失效分数，所述总失效分数包括所述正常工作状况的所述失效分数和所述电压超调状况的所述失效分数的总和；

使用所述计算机化机器将所述总失效分数与可靠性目标进行比较，从而确定所述总失效分数是否可接受；以及

通过所述计算机化机器报告所述总失效分数是否可接受。

8.根据权利要求7的方法，其中确定所述正常工作状况的所述失效分数的步骤在所述集成电路器件的整个有用工作寿命期间执行，所述失效分数包括在所述正常工作状况期间发生的介电失效的比例。

9.根据权利要求7的方法，还包括如果所述总失效分数不可接受，则修改所述集成电路器件的制造工艺。

10.根据权利要求7的方法，还包括如果所述总失效分数不可接受，则修改所述集成电路器件的电路设计。

11.根据权利要求10的方法，其中所述电路设计的所述修改旨在导致不同的电压超调状况。

12.根据权利要求7的方法，其中所述电压超调状况的所述失效分数的确定基于占空因数、加电小时数寿命、最大允许电压、使用温度和栅介电面积。