[发明专利]蓝宝石衬底的制造方法无效
| 申请号： | 201310024481.5 | 申请日： | 2013-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103943742A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良;王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;C30B29/20;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 制造 方法 | ||
1.一种蓝宝石衬底制造方法，包括：
提供一个模具，该模具开设一个薄膜状的凹陷；
将蓝宝石原料置于该凹陷并加热使该蓝宝石原料在毛细作用下布满凹陷而形成一个薄膜；
将一个具有一个特定切面的蓝宝石晶种移动至该特定切面接触该薄膜而形成固液界面；
拉提该蓝宝石晶种使该薄膜在该特定切面上凝固以形成一个蓝宝石衬底；
对该蓝宝石衬底进行双面粗磨减薄；
对该蓝宝石衬底进行双面细磨减薄；
对该蓝宝石衬底进行双面粗抛光；及
对该蓝宝石衬底进行双面精抛光。
2.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，该模具采用熔点高于该蓝宝石原料的熔点的材料。
3.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，该凹陷的深度为3毫米。
4.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，该模具收容于一个生成炉，该生成炉加热使得该蓝宝石原料熔化，该蓝宝石晶种固持于该生成炉，且与该凹陷正对，并在该生成炉的驱动下向该凹陷移动，直至该特定切面与薄膜接触。
5.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，该生成炉加热该蓝宝石原料至2050摄氏度。
6.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，该蓝宝石晶种的提升速度在每小时10毫米到25毫米之间。
7.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，利用粒度在10微米左右的钻石砂轮对该蓝宝石衬底的两个表面同时进行粗磨20分钟。
8.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，利用粒度在0.5微米左右的钻石砂轮对该蓝宝石衬底的两个表面同时进行细磨150分钟。
9.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，利用纳米粗抛光液对该蓝宝石衬底的两个表面同时进行粗抛光40分钟，纳米粗抛光液中的粒子的直径在50纳米左右。
10.如权利要求1所述的蓝宝石衬底制造方法，其特征在于，利用纳米精抛光液对该蓝宝石衬底的两个表面同时进行精抛光240分钟，纳米精抛光液中的粒子的直径在20纳米左右。
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