[发明专利]于金属沉积单元中放置一个或多个电路板的定位装置及其相关方法有效
申请号: | 201310025502.5 | 申请日: | 2008-03-05 |
公开(公告)号: | CN103137528B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 安德烈亚·贝茨尼 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 张欣 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 沉积 单元 放置 一个 电路板 定位 装置 及其 相关 方法 | ||
本申请是申请号为200880115975.1、申请日为2008年3月5日、发明名称为“于金属沉积单元中放置一个或多个电路板的定位装置及其相关方法”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种借助例如丝网印刷在一金属沉积单元中定位电路板的装置,该电路板例如为陶瓷基板、用于光电电池的硅基晶片。具体而言,根据本发明的定位装置被应用于一传送构件,例如,一旋转架或一圆盘传送带,其将这些电路板从一加载台,穿过至少一金属沉积台,运送至一释放台。
背景技术
人们公知用于处理电路板(例如,用于生产光电电池的晶片)的设备,其包括至少一在这些电路板上沉积金属走线的单元,以及相对于该沉积单元放置及传送这些电路板的定位装置,以及其它可能工作台。
人们公知一定位装置,其包括至少一馈送电路板的馈送带及一旋转架或圆盘传送带,由该馈送带馈送的电路板被放置在该旋转架或圆盘传送带上。该旋转架可被旋转特定角度,以将每一电路板传送及定位于该沉积单元的规定操作位置,以获得这些电路。
此类传送构件需要特定构件来定位这些电路板,这些构件包括至少一安装在该旋转架上的支撑平面,在该平面上对于从该传送带中退出的电路板进行初始沉积。
为确保在该电路板上沉积每一金属走线的精度,需要在一校准及对准台上关联该定位装置,以纠正电路板在该平面上的位置,还需要关联特定拾取及释放构件,其将已完成电路板各别移向一释放带。
如此必然导致生产成本及设备运行时间的增加,从而不可避免地降低生产率。
人们还公知一种定位装置,其中该旋转架上没有该支撑平面,而是有一散逸材料(例如纸质)制成的滑动带,其卷绕于两个卷绕/取消卷绕滚轮之间。
尽管此解决方案可以引导对该旋转架上的电路板进行沉积,但其需要较长的维护步骤,从而会使设备有较长时间不能工作,这是因为在每次处理之后需要控制该纸带的效率,一旦纸带完全卷绕在这些滚轮之一上时,还需要定期更换该纸带。
此外,这些维护步骤非常复杂,需要具有特别资格人员的介入,或者需要使用高级或特别昂贵的设备。
用于处理电路板的设备也被人们所公知,在这些设备中,用于沉积金属走线的单元借助具有热糊胶(paste)或冷糊胶的丝网印刷进行。
在两种公知解决方案中,在沉积金属走线时均可能发生错误或污渍,主要是由于印刷糊胶与电路板表面之间存在相对高的温差。
在现有技术中,由于糊胶的热梯度很高,因此还发现在印刷糊胶的干燥过程存在困难或缺陷。如此必然出现错误印刷及裂缝或中断,可能导致中断或改变印刷走线的正确导电性。
发明内容
本发明的一个目的是实现一种用于放置电路板的定位装置,其制造简单、经济,允许在传送构件上精确定位这些电路板,而不需要冗长且昂贵的步骤来纠正电路板的位置。
本发明的另一目的是实现一种用于放置电路板的装置,其不需要冗长、复杂且昂贵的维护步骤来进行更换。
本发明的又一目的是实现一种用于放置电路板的装置,其允许将金属走线沉积中出现错误或污渍的可能性限制为最低,还可以限制在印刷走线干燥期间形成裂缝或中断。
根据本发明的定位装置被用于针对一工作单元放置电路板,例如硅基晶片。
根据本发明的定位装置包括一旋转构件,其能够选择性地在至少一第一工作位置及一第二工作位置之间旋转,该定位装置还包括一定位构件,其能够安装在该旋转构件上。
根据本发明的一特征,该定位构件包括:至少一框架,其以可卸除方式安装在该旋转构件上;以及一由散逸材料制成的条带,每一电路板被放置于其上。
此外,该条带卷绕在一对卷绕/取消卷绕滚轮之间,这些滚轮与该框架相关联。
因此,本发明允许选择性地从该旋转组件上卸除该定位装置,以用另一定位装置进行替换,例如使用具有不同尺寸及/或功能的定位装置进行更换,或者只是在该散逸条带被用完时进行更换。
该装置的选择性卸除从而允许加速及简化更换该条带的操作,将生产过程的可能中断限制为最低,提高生产率,降低传送构件的总管理成本。
根据一变体,该可卸除框架包括快速固定构件,其为可卸除及/或暂时固定关联类型,其被整合,允许以至少对应机械、电气及可能气动连接方式将该装置连接至该旋转组件,其操作步骤有限,最好是仅采用滑动插入方式将该框架插入形成于该旋转组件上的定位底座中。
根据另一变体,根据本发明的装置包括至少一电动滚轮,可以选择性地使其与这些两个卷绕/取消卷绕滚轮之一协作,以确定该散逸条带的移动,从而使该电路板移向该旋转组件或远离该旋转组件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料意大利有限公司,未经应用材料意大利有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310025502.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:电厂锅炉真空抽吸打压水及粉尘设备
- 下一篇:一种防震变压器
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造