[发明专利]总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置

权利要求书

1.一种总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，包括总剂量辐照系统、电源和信号源以及参数测试系统，其特征在于，还包括多路复用器和控制与数据采集处理系统，所述控制与数据采集处理系统分别与所述参数测试系统、所述多路复用器连接，所述多路复用器与所述总剂量辐照系统连接，所述多路复用器与被试样品连接；

所述多路复用器接受所述控制与数据采集处理系统的控制连接所述电源和信号源或所述参数测试系统，当所述多路复用器与所述电源和信号源连接时，所述被试样品处于总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试状态，当所述多路复用器与所述参数测试系统连接时，所述被试样品处于在线功能与参数测试状态；

所述控制与数据采集处理系统用于对所述多路复用器和所述参数测试系统进行控制，和对所述参数测试系统所测得的参数进行采集和处理。

2.根据权利要求1所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，还包括矩阵开关，所述多路复用器通过所述矩阵开关与所述被试样品连接，所述矩阵开关用于将所述被试样品中施加相同信号的端口连接在一起。

3.根据权利要求2所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述控制与数据采集处理系统控制所述矩阵开关，将所述施加相同信号的端口连接在一起。

4.根据权利要求1或2或3所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述电源和信号源包括电压源、电流源和脉冲源。

5.根据权利要求4所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述电压源为0～60V的电压源，所述电流源为0～3A的电流源，所述脉冲源为0～100kHZ的脉冲源。

6.根据权利要求1或2或3所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述参数测试系统包括电流表、电压表、示波器和半导体参数测试仪。

7.根据权利要求1或2或3所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述控制与数据采集处理系统包括装有控制与采集软件的计算机、数据采集卡和数据传输线。

8.根据权利要求1所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述总剂量辐照系统、所述多路复合器、所述电源和信号源、所述参数测试系统以及控制和数据采集处理系统是通过电引线和数据传输线相连的。

9.根据权利要求2或3所述的总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，其特征在于，所述总剂量辐照系统、所述矩阵开关、所述多路复合器、所述电源和信号源、所述参数测试系统以及控制和数据采集处理系统是通过所述电引线和所述数据传输线相连的。