[发明专利]一种清洁系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及灰尘清洁技术，尤其涉及一种清洁系统和方法。

背景技术

在液晶显示面板或平板制造领域，通常用预先刻制好的母板在曝光灯下瞬间曝光的方式，将母板上的图案照射于涂布有均匀感光材料的基板上，从而使被光照射的感光材料的性质发生变化，之后通过化学品将被光照射的感光材料清洗掉，最终在基板上得到感光材料图案。

实际应用中，在母板移动到曝光灯下的过程中，通常会有灰尘落在母板上，从而导致曝光后的基板上会产生此灰尘的图案，导致基板不良现象发生。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种清洁系统和方法，以清除母板上的灰尘，降低基板不良现象的发生，提高产品的良率。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

本发明提供了一种清洁系统，该系统包括：第一清洁装置、光学检测装置和第二清洁装置，其中，

所述第一清洁装置，用于采用气体清洁的方式对母板进行清洁；

所述光学检测装置，用于对气体清洁后的母板进行光学检测，判断所述母板上是否存在灰尘以及确定灰尘的位置坐标；

所述第二清洁装置，用于根据所述光学检测装置确定的灰尘的位置坐标，清除所述母板上相应位置坐标处的灰尘。

较佳地，所述气体清洁的方式为正压风淋方式和/或负压吸入方式。

较佳地，所述第二清洁装置包括第二轨道模块、第一移动模块、第二移动模块和清洁模块，

所述第二轨道模块固定在传输母板的第一轨道模块上，所述第二轨道模块与所述第一轨道模块的轨道传输方向相同，所述第一移动模块设置于所述第二轨道模块上，所述第二移动模块设置于所述第一移动模块上，所述清洁模块设置于所述第二移动模块上。

较佳地，所述清洁模块包括：旋转电机、丝杠、压力传感器、旋转马达和清洁头，

所述旋转电机带动所述丝杠进行旋转升降，所述丝杠下端设有所述压力传感器，所述压力传感器的下端设有所述旋转马达，所述旋转马达带动所述清洁头进行旋转。

较佳地，所述清洁头上设有负压清洁孔。

较佳地，所述清洁头的形状为锥体或三角体。

本发明还提供了一种清洁方法，该方法包括：

第一清洁装置采用气体清洁的方式对母板进行清洁；

光学检测装置对气体清洁后的母板进行光学检测，判断所述母板上是否存在灰尘以及确定灰尘的位置坐标；

第二清洁装置根据确定的灰尘的位置坐标，清除所述母板上相应位置坐标处的灰尘。

较佳地，所述气体清洁的方式为正压风淋方式和/或负压吸入方式。

较佳地，所述对气体清洁后的母板进行光学检测，判断所述母板上是否存在灰尘以及确定灰尘的位置坐标，包括：

对气体清洁后的母板进行均匀光学扫描，并接收照射于所述母板上的反射光；

对接收的反射光进行分析，并根据预设的判断标准判断所述母板上是否存在灰尘，当判断所述母板上存在灰尘时，通过扫描计算所述灰尘在所述母板上的位置坐标。

较佳地，所述第二清洁装置包括第二轨道模块、第一移动模块、第二移动模块和清洁模块；

所述第二清洁装置根据确定的灰尘的位置坐标，清除所述母板上相应位置坐标处的灰尘，包括：

所述第二清洁装置根据所述光学检测装置提供的位置坐标，控制所述第二轨道模块、第一移动模块、第二移动模块，使所述清洁模块对准所述母板上的灰尘；

所述清洁模块中的旋转电机带动所述丝杠进行旋转升降，使所述清洁头接触所述母板上的灰尘，所述压力传感器检测所述清洁头与母板之间的压力，并根据预设的压力值控制所述清洁头的下降程度；

当所述清洁头与母板之间的压力达到预设的压力值时，所述旋转马达带动所述清洁头旋转，将所述母板上的灰尘粘附在所述清洁头上。

较佳地，所述清洁头上设有负压清洁孔，该方法进一步包括：

在所述清洁头旋转清洁母板时，所述清洁头上的负压清洁孔通过负压吸入的方式将所述母板上的灰尘吸入负压管道中。

本发明所提供的一种清洁系统和方法，先由第一清洁装置采用气体清洁的方式对母板进行清洁；光学检测装置再对气体清洁后的母板进行光学检测，判断母板上是否存在灰尘以及确定灰尘的位置坐标；第二清洁装置根据确定的灰尘的位置坐标，清除母板上相应位置坐标处的灰尘。通过本发明，能够有效清除母板上的灰尘，从而降低基板不良现象的发生，提高产品的良率。

附图说明

图1为本发明实施例的一种清洁系统的俯视结构示意图；