[发明专利]基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统及其检测方法

权利要求书

1.基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统，其特征是所述微波检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，MEMS可重构天线接收微波信号，经MEMS可调滤波器后，得到待测微波信号输入微波检测器，控制电路分别连接MEMS可重构天线和MEMS可调滤波器，

所述微波检测器在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及四个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线输入一个MEMS直接式微波功率传感器，四个MEMS悬臂梁结构分为两对，对称悬于待测信号传输线的信号线上方，其中位于待测信号传输线的信号线同一侧两个MEMS悬臂梁结构分别连接一个MEMS直接式微波功率传感器，另一侧对称的两个MEMS悬臂梁结构分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS直接式微波功率传感器。

2.根据权利要求1所述的基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器沿待测信号传输线方向，两对MEMS悬臂梁结构之间的距离L为中心频率点所对应波长的1/4，所述中心频率点指所述微波频率检测器的频率检测范围的中心频率点。

3.根据权利要求1或2所述的基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的MEMS悬臂梁结构与功合器以及MEMS直接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接，功合器与MEMS直接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接；悬臂梁结构包括悬臂梁和锚区，悬臂梁与下方的待测信号传输线的信号线之间设有绝缘介质层。

4.根据权利要求1或2所述的基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻，功合器的输入端和输出端之间为不对称共面带线ACPS信号线，隔离电阻设置在两个输入端之间。

5.根据权利要求3所述的基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统，其特征是微波检测器的功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻，功合器的输入端和输出端之间为不对称共面带线ACPS信号线，隔离电阻设置在两个输入端之间。