[发明专利]一种高效率平面式绝缘栅双极型晶体管IGBT有效
| 申请号： | 201310029073.9 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN103077967A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 关仕汉;吕新立 | 申请（专利权）人： | 淄博美林电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/739 | 分类号： | H01L29/739;H01L29/06 |
| 代理公司： | 淄博佳和专利代理事务所 37223 | 代理人： | 孙爱华 |
| 地址： | 255000 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 平面 绝缘 栅双极型 晶体管 igbt | ||
【权利要求书】：
1.一种高效率平面式绝缘栅双极型晶体管IGBT，包括主体P+Substrate（1）、在主体P+Substrate（1）上方的第一层外延缓冲层（2）、在第一层外延缓冲层（2）上方的第二层外延漂移层（3）、通道RJ（4），其特征在于：在第二层外延漂移层（3）上方增设包含通道RJ （4）的第三层外延层（5）。
2.根据权利要求1所述的高效率平面式绝缘栅双极型晶体管IGBT，其特征在于：外延层掺杂浓度为第一层外延缓冲层（2）浓度为2×1015-2×1016个最浓，第二层外延漂移层（3）浓度为2×1013-2×1014个最淡，第三层外延层（5）浓度为2×1014-1×1015个浓度介于第一层外延缓冲层（2）与第二层外延漂移层（3）之间。
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