[发明专利]氮化物半导体结构及半导体发光元件有效

专利信息
申请号: 201310029644.9 申请日: 2013-01-25
公开(公告)号: CN103972340B 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 吴俊德;李玉柱 申请(专利权)人: 新世纪光电股份有限公司
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马雯雯;臧建明
地址: 中国台湾台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 氮化物半导体 半导体发光元件 空穴 主族元素 发光层 活化 掺杂 氮化铟镓 发光效率 有效作用 基板 配置 配合
【权利要求书】:

1.一种氮化物半导体结构,其包含一N型半导体层以及一P型半导体层,于所述N型半导体层与所述P型半导体层间配置有一发光层,所述发光层与所述P型半导体层间配置有一空穴提供层,所述空穴提供层紧邻所述发光层,且所述空穴提供层为氮化铟镓InxGa1-xN,其中0<x<1,且所述空穴提供层掺杂有浓度为1017-1020cm-3的第四主族元素;

所述空穴提供层与所述P型半导体层间配置有一P型载子阻隔层,且所述P型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成;

所述第四主族元素为碳;

所述空穴提供层掺杂有浓度大于1018cm-3的P型掺质;

所述P型掺质为镁。

2.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述发光层具有多重量子井结构,且所述空穴提供层的能隙大于所述多重量子井结构的井层的能隙。

3.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述空穴提供层的厚度为1-100nm。

4.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述空穴提供层为氮化铟镓InxGa1-xN,其中x为0<x≤0.1。

5.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述发光层与所述N型半导体层间配置有一N型载子阻隔层,且所述N型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成。

6.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述发光层与所述N型半导体层间配置有一N型载子阻隔层,且所述N型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成。

7.一种半导体发光元件,其至少包含有:

一基板;

一N型半导体层,其配置于所述基板上;

一发光层,其配置于所述N型半导体层上;

一空穴提供层,其配置于所述发光层上,所述空穴提供层紧邻所述发光层,且所述空穴提供层为氮化铟镓InxGa1-xN,其中0<x<1,且所述空穴提供层掺杂有浓度为1017-1020cm-3的第四主族元素;所述第四主族元素为碳;所述空穴提供层掺杂有浓度大于1018cm-3的P型掺质;所述P型掺质为镁;

一P型半导体层,其配置于所述空穴提供层上;

一P型载子阻隔层,其配置于所述空穴提供层与所述P型半导体层间,且所述P型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成;

一N型电极,其以欧姆接触配置于所述N型半导体层上;以及

一P型电极,其以欧姆接触配置于所述P型半导体层上。

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