[发明专利]氮化物半导体结构及半导体发光元件有效
申请号: | 201310029644.9 | 申请日: | 2013-01-25 |
公开(公告)号: | CN103972340B | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 吴俊德;李玉柱 | 申请(专利权)人: | 新世纪光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氮化物半导体 半导体发光元件 空穴 主族元素 发光层 活化 掺杂 氮化铟镓 发光效率 有效作用 基板 配置 配合 | ||
1.一种氮化物半导体结构,其包含一N型半导体层以及一P型半导体层,于所述N型半导体层与所述P型半导体层间配置有一发光层,所述发光层与所述P型半导体层间配置有一空穴提供层,所述空穴提供层紧邻所述发光层,且所述空穴提供层为氮化铟镓InxGa1-xN,其中0<x<1,且所述空穴提供层掺杂有浓度为1017-1020cm-3的第四主族元素;
所述空穴提供层与所述P型半导体层间配置有一P型载子阻隔层,且所述P型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成;
所述第四主族元素为碳;
所述空穴提供层掺杂有浓度大于1018cm-3的P型掺质;
所述P型掺质为镁。
2.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述发光层具有多重量子井结构,且所述空穴提供层的能隙大于所述多重量子井结构的井层的能隙。
3.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述空穴提供层的厚度为1-100nm。
4.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述空穴提供层为氮化铟镓InxGa1-xN,其中x为0<x≤0.1。
5.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述发光层与所述N型半导体层间配置有一N型载子阻隔层,且所述N型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成。
6.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其中,所述发光层与所述N型半导体层间配置有一N型载子阻隔层,且所述N型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成。
7.一种半导体发光元件,其至少包含有:
一基板;
一N型半导体层,其配置于所述基板上;
一发光层,其配置于所述N型半导体层上;
一空穴提供层,其配置于所述发光层上,所述空穴提供层紧邻所述发光层,且所述空穴提供层为氮化铟镓InxGa1-xN,其中0<x<1,且所述空穴提供层掺杂有浓度为1017-1020cm-3的第四主族元素;所述第四主族元素为碳;所述空穴提供层掺杂有浓度大于1018cm-3的P型掺质;所述P型掺质为镁;
一P型半导体层,其配置于所述空穴提供层上;
一P型载子阻隔层,其配置于所述空穴提供层与所述P型半导体层间,且所述P型载子阻隔层由具有高于所述发光层的能隙的材料所制成;
一N型电极,其以欧姆接触配置于所述N型半导体层上;以及
一P型电极,其以欧姆接触配置于所述P型半导体层上。
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