[发明专利]集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法无效
| 申请号： | 201310031110.X | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103076284A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 孙英男;韩伟静;魏清泉;李运涛;俞育德;周晓光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 有微流控 系统 光学 生物 传感器 制作方法 | ||
1.一种集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，包括：
步骤1：取一基片(10)，清洗干净，烘干，依次涂粘结剂和光刻胶；
步骤2：在基片(10)顶层上进行曝光，完成器件图形的定义；
步骤3：对显影后的基片(10)进行刻蚀，去胶，得到微纳平面波导型光学器件阵列芯片(11)；
步骤4：对该微纳平面波导型光学器件阵列芯片(11)进行前烘，并将SU8胶(12)旋涂在芯片(11)上，然后前烘；
步骤5：将光刻掩模铬板上的对准标记与芯片(11)上的对准标记进行对准，然后进行普通光刻，后烘；
步骤6：显影得到对应于微纳光学器件图形的微流通道(12)，然后坚膜；
步骤7：制作PDMS薄层(13)；
步骤8：对芯片上的SU-8胶(12)进行表面处理，对PDMS薄层(13)的键合面进行等离子体处理；
步骤9：将PDMS薄层(13)的键合面贴合到SU-8胶(12)的修饰面，并放置于热板上；
步骤10：对键合好的芯片进行打孔，得到进液口和出液口，这样就得到了集成有微流控系统的光学微纳生物传感器。
2.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的微纳平面波导型光学器件阵列芯片(11)包含线波导、马赫-曾德干涉型、微环谐振腔或微盘谐振腔。
3.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中制作所述微纳平面波导型光学器件阵列芯片(11)的方法包括：电子束曝光或深紫外光刻。
4.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的SU-8胶(12)包含各种型号的SU8胶，至少为SU-8210或SU-82035。
5.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的对准光刻，要保证掩模板通道对准芯片上光学器件的待测区，并且要将器件两端的光栅露出，以便插入光纤进行光的耦合输入和输出。
6.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的PDMS薄层(13)是采用道康宁184灌封胶。
7.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的SU-8胶(12)表面修饰的方法有：利用APTES进行浸泡或烘焙。
8.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的等离子体是氧等离子体。
9.根据权利要求1所述的集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，其中所述的热板烘烤温度是70℃至80℃，时间在20分钟至30分钟。
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