[发明专利]清洗装置、仪器和方法

权利要求书

1.一种清洗装置，包括：

-清洗槽，其保持用于清洗待清洗物体的清洗液，

-耦合槽，其保持中间介质并且被布置成使得所述清洗槽具有与所述中间介质接触的部分；

-超声波产生单元，其设置在所述耦合槽处，并且经由所述中间介质对所述清洗液进行超声振荡；以及

-变更单元，其变更所述清洗液中的声速与所述中间介质中的声速之间的差别。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其中，所述变更单元包括改变所述中间介质的温度的温度调整单元。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其中，所述温度调整单元具有加热所述中间介质的加热元件。

4.根据权利要求2所述的清洗装置，其中，所述中间介质是脱气水，并且所述温度调整单元具有对供应给所述耦合槽的所述脱气水的量进行调整的流率调整单元。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其中，所述变更单元包括变更所述中间介质的组成的组成调整单元。

6.一种清洗仪器，其配置有利用清洗液清洗待清洗物体的多个清洗单元，所述多个清洗单元中的至少一个是根据权利要求1-5中的任一项所述的清洗装置。

7.一种清洗方法，包括以下步骤：

-将待清洗物体放置在保持于清洗槽中的清洗液中；以及

-经由与所述清洗槽接触的中间介质对所述清洗液进行超声振荡来清洗所述物体，所述进行超声振荡的步骤包括以下步骤：

-在所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速具有第一差别的情况下对所述清洗液进行超声振荡；以及

-在所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速具有不同于所述第一差别的第二差别的情况下对所述清洗液进行超声振荡。

8.根据权利要求7所述的清洗方法，其中，在所述进行超声振荡的步骤中，变更所述中间介质的温度，以将所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速之间的所述第一差别改变为所述第二差别。

9.根据权利要求8所述的清洗方法，其中，在所述进行超声振荡的步骤中，使用加热元件来变更所述中间介质的温度，以将所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速之间的所述第一差别改变为所述第二差别。

10.根据权利要求8所述的清洗方法，其中，所述中间介质是脱气水，并且其中，在所述进行超声振荡的步骤中，改变与所述清洗槽接触的所述脱气水的保留时间，以变更所述脱气水的温度，从而将所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速之间的所述第一差别改变为所述第二差别。

11.根据权利要求7所述的清洗方法，其中，在所述进行超声振荡的步骤中，变更所述中间介质的组成，以将所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速之间的所述第一差别改变为所述第二差别。

12.根据权利要求11所述的清洗方法，其中，所述进行超声振荡的步骤还包括在所述清洗液中的声速和所述中间介质中的声速具有不同于所述第一差别和所述第二差别的差别的情况下对所述清洗液进行超声振荡的一个或多个步骤。

13.一种清洗方法，包括以下步骤：

-将待清洗物体放置在保持于第一清洗槽中的第一清洗液中；

-经由与所述第一清洗槽接触的第一中间介质对所述第一清洗液进行超声振荡来清洗所述物体；

-将所述物体放置在保持于第二清洗槽中的第二清洗液中；以及

-经由与所述第二清洗槽接触的第二中间介质对所述第二清洗液进行超声振荡来清洗所述物体，所述第一清洗液中的声速和所述第一中间介质中的声速具有第一差别，所述第二清洗液中的声速和所述第二中间介质中的声速具有第二差别，所述第一差别和所述第二差别是彼此不同的。

14.根据权利要求13所述的清洗方法，其中，调整所述第一中间介质和所述第二中间介质中的至少一个的温度以将所述第一差别和所述第二差别设置为不同。

15.根据权利要求14所述的清洗方法，其中通过加热元件来调整所述第一中间介质和所述第二中间介质中的至少一个的温度。

16.根据权利要求14所述的清洗方法，其中，所述第一中间介质是脱气水，并且其中，变更与所述第一清洗槽接触的所述第一中间介质的保留时间以将所述第一中间介质的温度设置为与所述第二中间介质的温度不同。

17.根据权利要求13所述的清洗方法，其中，所述第一中间介质和所述第二中间介质具有相互不同的组成，以使所述第一清洗液中的声速和所述第一中间介质中的声速之间的第一差别与所述第二清洗液中的声速和所述第二中间介质中的声速之间的第二差别是彼此不同的。