[发明专利]长晶装置及晶体制造方法

权利要求书

1.一种长晶装置，其特征在于，包括：

一坩锅；

一坩锅盖，其界定有一开口，该坩锅盖装设于该坩锅上，且该坩锅与该坩锅盖包围定义出一容置空间，该容置空间经该开口而连通于外；

一隔热单元，其设置于该坩锅盖的外表面上；以及

多个热反射环，其设置于该容置空间内且分别悬吊于该坩锅盖，而任两相邻的热反射环呈间隔设置，且所述多个热反射环与该坩锅盖之间各形成有一第一角度，所述多个热反射环能在该长晶装置加热过程中产生形变，以使每一热反射环与该坩锅盖之间的第一角度能变化至一第二角度。

2.如权利要求1所述的长晶装置，其特征在于，进一步包括多个杆状的固定件，所述多个固定件装设于该坩锅盖，所述多个热反射环定位于所述多个固定件而悬吊于该坩锅盖，并且所述多个热反射环与所述多个固定件之间留有余隙，以容许所述多个热反射环与该坩锅盖之间的角度变化。

3.如权利要求2所述的长晶装置，其特征在于，进一步包括多个定位件，每一热反射环形成有多个通孔，每一通孔的尺寸小于每一定位件的尺寸，所述多个热反射环分别经由所述多个定位件与所述多个固定件的配合而悬吊于该坩锅盖。

4.如权利要求2所述的长晶装置，其特征在于，每一热反射环呈板状且具有相对的一第一面与一第二面，于该长晶装置加热过程中，每一热反射环的第一面与第二面分别受到不同的热应力而产生不同的热膨胀，以使每一热反射环与该坩锅盖之间的第一角度能变化至该第二角度。

5.如权利要求2所述的长晶装置，其特征在于，该第一角度为平角，而该第二角度为锐角。

6.如权利要求1至5中任一项所述的长晶装置，其特征在于，所述多个热反射环是由铱、钨或钼所制成。

7.如权利要求1至5中任一项所述的长晶装置，其特征在于，所述多个热反射环与该坩锅盖之间各形成该第二角度时，每一热反射环的内径自邻近该坩锅盖朝远离该坩锅盖的方向逐渐递增。

8.如权利要求1至5中任一项所述的长晶装置，其特征在于，该隔热单元具有多层环状隔热片，所述多层隔热片层层依序堆叠于该坩锅盖的外表面上，且所述多层隔热片的内径自邻近该坩锅盖朝远离该坩锅盖的方向逐层递增。

9.一种晶体制造方法，其特征在于，步骤包括：

提供如权利要求1所述的该长晶装置；

于该坩锅内盛装一原料；

将所述多个热反射环悬吊于该坩锅盖下方，并该坩锅盖上装设该隔热单元，而后将该坩锅盖装设于该坩锅上，使所述多个热反射环位于该容置空间内；以及

进行该长晶装置的加热，以将该原料熔融形成一熔汤，于该长晶装置加热过程中，所述多个热反射环因受热而产生形变，以使每一热反射环与该坩锅盖之间的第一角度逐渐变化至该第二角度，进而调整该熔汤表面的垂直温梯分布与水平温梯分布。

10.如权利要求9所述的晶体制造方法，其特征在于，当每一热反射环与该坩锅盖之间的第一角度逐渐变化至该第二角度时，每一热反射环的内径自邻近该坩锅盖朝远离该坩锅盖的方向逐渐递增，并且该熔汤因蒸发而凝结于每一热反射环的凝结物，其沿每一热反射环表面滑落至该熔汤的外侧部位。