[发明专利]流体分配系统及方法、连接器、微电子产品制造设备

权利要求书

1.一种流体分配系统，所述流体分配系统包括：

至少一个压力分配封装件，所述压力分配封装件包括设置在外包装容器内的可折叠内衬，所述外包装容器比所述可折叠内衬硬得多，其中，所述可折叠内衬适于容纳用于压力分配的流体；以及

连接器，所述连接器适于与所述至少一个压力分配封装件中的一个压力分配封装件配合，所述连接器包括气体移除设备，所述气体移除设备包括与至少一个传感器操作地接合以有效地从所述压力分配封装件中移除所述可折叠内衬中的顶部空间的气体的顶部空间移除阀以及适于接收来自所述可折叠内衬的流体的可排放贮存器，所述气体移除设备适于在所述流体的压力分配之前以及在所述流体的压力分配期间从所述可折叠内衬中移除气体，其中，所述气体移除设备设置用于检测从所述压力分配封装件分配的气泡的存在。

2.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述气体移除设备还适于移除在从所述压力分配封装件中移除所述气体之后进入所述压力分配封装件的进入气体。

3.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述压力分配封装件包括浸管。

4.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述连接器包括主体部，所述主体部限定出贮存器且包括一与所述可折叠内衬接合的探针，以在所述可折叠内衬与所述探针之间形成不泄漏流体的密封状态，所述探针包括向上伸进所述贮存器的导管且所述导管的上端终止在所述贮存器的上端下方，如此所述连接器中向上流动的液体将流经所述导管并从所述导管的上端流入所述贮存器。

5.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述连接器包括流体通道，所述流体通道能接合至加压气体源以允许加压气体流动到在所述可折叠内衬与所述外包装容器之间限定的体积中。

6.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述气体移除设备还包括：

传感器，适于感测气体在所述贮存器中的积聚，并适于响应地产生指示气体在所述贮存器中的所述积聚的输出信号；以及

至少一个第一控制件，适于响应于所述输出信号而有效地从所述贮存器中移除气体。

7.根据权利要求6所述的流体分配系统，其中，所述传感器包括电容传感器、感光器或光学传感器。

8.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述可排放贮存器包括设置在第一高度处的气体出口以及设置在第二高度处的液体出口，所述第二高度布置在所述第一高度下方。

9.根据权利要求8所述的流体分配系统，其中，所述可排放贮存器包括垂直轴、与所述垂直轴垂直的平均内横截面、以及沿着所述可排放贮存器的上边界设置的集气区，其中，所述集气区具有垂直于所述垂直轴的内横截面，所述内横截面比所述可排放贮存器的所述平均内横截面小得多。

10.根据权利要求9所述的流体分配系统，还包括至少一个挡板，所述至少一个挡板设置在所述可排放贮存器内并适于协助将微气泡传送至所述集气区。

11.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述检测从所述压力分配封装件分配的气泡的存在包括：

气泡传感器，感测地连接至所述可排放贮存器上游的所述流动回路并能操作以产生指示从所述压力分配封装件分配的液体中存有气泡的输出信号；以及

控制件，适于响应于所述气泡传感器的所述输出信号使所述可排放贮存器排放，以允许基本不含气泡的液体从所述可排放贮存器排出。

12.根据权利要求1所述的流体分配系统，其中，所述气体移除设备包括：

压力转换器；以及

化学供应阀；

其中，所述顶部空间移除阀的所述至少一个传感器包括气泡传感器、感光器以及电容传感器中的任一者，以有效地从所述压力分配封装件中移除气体，并且所述化学供应阀适于调节从所述压力分配封装件分配的液体的流动。

13.根据权利要求1所述的流体分配系统，还包括适于检测所述压力分配封装件的倒空状态的倒空检测设备。

14.根据权利要求1所述的流体分配系统，还包括倒空检测设备，所述倒空检测设备包括压力转换器，所述压力转换器适于感测从所述压力分配封装件分配的流体的压降并适于响应地产生对应的输出信号。