[发明专利]激光切割玻璃的方法

权利要求书

1.一种激光切割玻璃的方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用脉冲宽度范围在皮秒至飞秒的激光器；

所述激光器产生的激光束经聚焦处理后入射至待切割的玻璃工件内，使所述激光束的焦点位于所述玻璃工件的内部；

所述激光束与所述玻璃工件按预先设定的路径做相对移动，使所述焦点在所述玻璃工件的内部形成由多个微裂点沿激光束扫射的路径组成的切割层；以及

施加外力于所述玻璃工件，使所述玻璃工件沿所述切割路径撕开。

2.如权利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束的波长范围为355纳米~1064纳米以及平均功率的范围为0.1瓦~0.7瓦。

3.如权利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束的脉冲宽度范围为100飞秒~100皮秒以及单点能量范围为0.1μJ~20μJ。

4.如权利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束经聚焦后于玻璃工件内部形成光斑，所述光斑的直径范围为0.1微米~10微米。

5.如权利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述切割层至少为一层。

6.如权利要求5所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，对所述玻璃工件进行多层切割，所述微裂点沿所述玻璃工件深度方向形成多层排布的切割层。

7.如权利要求1所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述玻璃工件的厚度范围为0.2毫米~1.1毫米。

8.如权利要求1的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述玻璃工件为钠钙硅玻璃、铝硅酸盐玻璃或者硼酸盐玻璃。

9.如权利要求1至8任意一项所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，所述激光束的聚焦处理过程包括：

所述激光束经扩束准直镜扩束处理；

通过45度反射镜反射至聚焦镜；以及

所述聚焦镜将聚焦后的所述激光束垂直入射至位于所述工作平台上的所述玻璃工件内。

10.如权利要求1至8任意一项所述的激光切割玻璃的方法，其特征在于，还包括以下步骤：

将平面度检测装置电性连接于所述激光器；

采用所述平面度检测装置检测所述玻璃工件的平面度；

所述平面度检测装置将所测的平面度以电信号传送至所述激光器；以及

所述激光器根据接收的平面度信号带动切割头移动。