[发明专利]一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法及装置

权利要求书

1.一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

11）将硅烷净化提纯工艺尾气通过工艺管道，输送到第一吸收装置中，第一吸收装置中填充有浓度为20%-45%的碱性吸收液；

12）通过第一吸收装置中搅拌器的搅拌使硅烷净化提纯工艺尾气被碱性吸收液充分吸收；

13）将硅烷净化提纯工艺尾气和碱性吸收液反应后的生成物排出。

2.根据权利要求1所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法，其特征在于，在步骤12）和步骤13）之间还包括以下步骤：

121）取样检测第一吸收装置中碱性吸收液的浓度；

122）当第一吸收装置中碱性吸收液的浓度低于8%-10%时，关闭输送硅烷净化提纯工艺尾气的阀门，停止尾气输送。

3.根据权利要求1所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法，其特征在于，在步骤13）之后还包括以下步骤：

14）当停止向第一吸收装置输送硅烷净化提纯工艺尾气后，打开通向第二吸收装置的阀门，将硅烷净化提纯工艺尾气输送至第二吸收装置中进行尾气吸收，直至取样检测吸收液浓度低于8%-10%时，停止尾气输送，将第二吸收装置内液体排出，再向第二吸收装置中填充浓度为20%-45%的碱性吸收液；

15）将硅烷净化提纯工艺尾气输送至第一吸收装置中，第一吸收装置填充有浓度为20%-45%的碱性吸收液。

4.根据权利要求1所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法，其特征在于，所述碱性吸收液为氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液或氢氧化钙溶液。

5.一种用于实现上述方法的硅烷净化提纯工艺尾气的处理装置，其特征在于，包括：

反应器（1），所述反应器（1）中盛装有碱性吸收液；

设置于所述反应器（1）上，用于搅拌碱性吸收液的搅拌器（2）；

设置于所述反应器（1）的顶部且与氮气输送管道（31）连通的排气管路（3）；

与所述反应器（1）相连的硅烷净化提纯工艺尾气的进气装置；

设置于所述反应器（1）上，用于取样检测碱性吸收液浓度的取样装置；

设置于所述反应器（1）的底部的废液排放装置。

6.根据权利要求5所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理装置，其特征在于，所述进气装置与所述排气管路（3）对应设置于所述反应器（1）的顶部。

7.根据权利要求5所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理装置，其特征在于，所述进气装置包括：

用于向所述反应器（1）中输送硅烷净化提纯工艺尾气的进气管（41），且所述进气管（41）伸入到碱性吸收液的液面以下；

设置于所述进气管（41）上用于接通和切断输送气路的第一阀门（42）。

8.根据权利要求5所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理装置，其特征在于，所述取样装置设置于所述反应器（1）的底部。

9.根据权利要求5所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理装置，其特征在于，所述取样装置包括：

与所述反应器（1）连通的取样管线（51）；

设置于所述取样管线（51）上，用于切断和接通管路的第二阀门（52）。

10.根据权利要求5所述的硅烷净化提纯工艺尾气的处理装置，其特征在于，所述废液排放装置包括排放管路（61）和设置于所述排放管路（61）上的第三阀门（62）。