[发明专利]一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺

权利要求书

1.一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：包括如下步骤：

1）备料：所用粉末为钼粉、钼酸钠粉末；粉末的物理性质为：钼粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；钼酸钠粉，钼酸钠含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；

2）配粉：将钼粉、钼酸钠粉按照比例称取，钼粉质量百分含量为90~99%，钼酸钠粉为：1~10%；

3）机械合金化：合成纳米钼钠合金粉末；

4）装模：将上述得到的混合后的钼钠合金粉填充在橡胶模套内，制备成空心的粉质钼钠管坯；

5）冷等静压压制：将空心的粉质钼钠管坯放入冷等静压力机压制成型；

6）烧结：将成型后的固体管坯放入中频烧结炉内，炉内通入氢气保护，采用水循环降温； 

7）锻造：将烧结后的钼钠合金成型坯加热到800-1300℃，加热时间为1-3h，取出后进行锻打；

8）真空退火：将锻打后的钼钠管靶放入真空退火炉内，进行真空退火；具体的退火工艺为：加热温度：700-1300℃，保温0.5-2h，然后缓慢冷却至室温；

9）机械加工，得到钼钠合金旋转溅射管形靶材。

2.根据权利要求1所述的一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：所述步骤3中，机械合金化过程如下：

将钼粉与钼酸钠粉按比例混合，在行星高能球磨机中球磨，球磨时在氩气保护中进行，球料比为1:1，球磨时间为24h。

3.根据权利要求1所述的一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：所述步骤5中，冷等静压压制过程如下：

a）将夹紧的橡胶模袋，放入冷等静压机的高压工作容器内；

b）开动压力泵把液体介质压入高压工作容器直至充满并从放气孔中冒出为止；

c）随即开动增压泵使压力以5MPa/min的速度升至50-400Mpa Mpa，然后保压1-2分钟，最后卸压过程速度为8MPa/min；

d）压力去除后，将橡胶套从高压工作容器中取出，打开橡胶套，即可将压制成型的固体管坯取出。

4.根据权利要求1所述的一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：所述烧结步骤6中，烧结过程如下：

a）室温升温至1200℃，用时4h；  

 b） 1200℃保温1h；

 c） 1200℃升温至1300℃，用时1h；

d） 1300℃升温至1400℃，用时2h；  

e） 1400℃升温至1650℃，用时2h； 

f） 1650℃保温1h；

g） 1650℃升温至1750℃，用时1h； 

h） 1750℃升温至1850℃，用时1h； 

i） 1850℃升温至1960℃，用时1h； 

 j） 1960℃保温7h；

 k） 停炉；

m） 冷却9h；

 n） 出炉。

5.根据权利要求1所述的一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：所述烧结步骤7中，取出后以冲击力为1000公斤的空气锤进行锤锻，锻打20次。