[发明专利]基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置有效
| 申请号： | 201310033367.9 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103105142A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;王伟波;张拓 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 表面 荧光 激发 工作 轮廓 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置，其特征在于包括激光器（1）、沿光线传播方向配置在激光器（1）直射光路上的准直扩束器（2）和偏振分光镜（3）；配置在偏振分光镜（3）反射光路上的四分之一波片（4）、反射式物镜（5）和被测件（6）；配置在偏振分光镜（3）透射光路上的收集物镜（7）、针孔（8）和探测器（9）；所述的探测器（9）中含有窄带滤光片；所述的被测件（6）表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜。
2.根据权利要求1所述的基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置，其特征在于所述的探测器（9）中的窄带滤光片的中心波长为610nm，带宽为50nm。
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