[发明专利]一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法，其特征在于氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法是通过以下步骤进行：

一、ZnO陶瓷靶材的制备：利用固相烧结法制备ZnO陶瓷靶材；

二、将衬底采用99.5wt％丙酮、99.7wt％乙醇、18MΩ的去离子水和99.5wt％甲醇依次进行超声清洗5～60min，得到清洗后的衬底；

三、ZnO籽晶层的制备：利用脉冲激光沉积法、磁控溅射、旋涂法、化学气相沉积法或热传输法在清洗后的衬底上制备ZnO籽晶层，得到具有ZnO籽晶层的衬底；

四、超细ZnO纳米棒阵列的制备：利用水热法、脉冲激光衬底法、热蒸发气相沉积法、化学气相沉积法或热传输法在具有ZnO籽晶层的衬底上生长直径为5～100nm ZnO纳米棒阵列，得到超细ZnO纳米棒阵列；

五、氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备：以1～100mL无水乙醇作为溶剂，加入10μL～1000μL硅源材料，搅拌1～30min，然后将超细ZnO纳米棒阵列浸入溶剂中，继续搅拌1～30min，再加入1～30mL碱性催化剂，室温下反应1～48h后取出，依次用去离子水和无水乙醇或甲醇超声清洗1～60min后烘干，即得到氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒。

2.根据权利要求1所述的一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法，其特征在于步骤二的衬底为硅片、二氧化硅片、蓝宝石片或玻璃片。

3.根据权利要求1所述的一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法，其特征在于步骤五中的硅源材料为正硅酸乙酯、正硅酸甲酯、3-氨丙基三乙氧基硅烷或硅酸钠。

4.根据权利要求1所述的一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法，其特征在于步骤五中的碱性催化剂为5～28wt％的氨水、96wt％氢氧化钠、90wt％氢氧化钾或99wt％六次甲基四胺溶液。

5.根据权利要求1所述的一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法，其特征在于步骤五中的烘干为在50～300℃的条件下烘干1～120min。

6.根据权利要求1所述的一种氧化锌纳米颗粒/二氧化硅复合结构纳米棒的制备方法，其特征在于步骤五中加入的超细ZnO纳米棒阵列为具有ZnO晶体c轴择优取向的超细ZnO纳米棒阵列。