[发明专利]一种LED外延结构无效
申请号: | 201310036011.0 | 申请日: | 2013-01-30 |
公开(公告)号: | CN103078018A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 李鸿建;靳彩霞;董志江 | 申请(专利权)人: | 武汉迪源光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/14 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 外延 结构 | ||
1.一种LED外延结构,包括依次层叠的衬底、过渡层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、多量子阱层、p型氮化镓层、ITO掺锡氧化铟层、p型电极和形成于n型氮化镓层上的n型电极,其特征在于,还包括p型接触层,所述p型接触层介于p型氮化镓层和ITO掺锡氧化铟层之间,呈锲型结构,且p型接触层的空穴浓度渐变,靠近p型氮化镓层的一测空穴浓度高,远离p型氮化镓层一侧空穴浓度低。
2.根据权利要求1所述一种LED外延结构,其特征在于,所述p型接触层由掺杂Mg或Be的AlyInxGa1-x-yN的半导体层构成,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y<1。
3.根据权利要求2所述一种LED外延结构,其特征在于,所述p型接触层的掺杂浓度由下至上依次呈渐变型,靠近p型氮化镓层的一测浓度高,远离p型氮化镓层的一侧浓度低。
4.根据权利要求3所述一种LED外延结构,其特征在于,所述p型接触层掺杂的浓度范围为1*1017/cm3~9*1022/cm3。
5.根据权利要求1-3或4所述一种LED外延结构,其特征在于,所述p型接触层被刻腐蚀前的厚度取值范围为0.01~100μm。
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