[发明专利]多连板检测机台

说明书

技术领域

本发明与检测机台有关，更详而言之是指一种多连板检测机台。

背景技术

近年来随着科技的发展，许多工件的微小化，使得各种产业的机械与测量仪器趋向高精度化，因此，不论是在精密机械产业或半导体产业皆朝微小与精密方向发展，因此，许多半导体产业需要高精密的定位技术与仪器进行制作，然而，一般用以检测电子元件的检测机台，其所需的时间及程序及较为冗长，且其准确性较为不佳。

发明内容

本发明的目的即在于提供一种多连板检测机台，能减少检测时所需的时间及程序。

本发明的次一目的在于提供一种多连板检测机台，能提升检测的准确性。

为达成上述目的，本发明提供一种多连板检测机台，包括：

一机座；

一位移检测装置，具有一位移轨道组及一检测微调模块，所述位移轨道组设置于所述机座上，所述检测微调模块具有一基座、多个微调机构，一检测平台、至少一取像单元及一检测探针单元；所述基座设置于所述位移轨道组上，并能够进行往复的滑移，所述的微调机构等间距地设置于所述基座上，并能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述检测平台设置于所述的微调机构上，以受所述的微调机构所带动而进行X轴向及Y轴向的微调平移，所述取像单元设置于所述基座上，用以进行取像对位，所述检测探针单元设置于所述检测平台上，具有多数能够与外部电子元件进行接触而探测其电性的探针，所述位移检测装置进行X轴向及Y轴向的位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测；

多个Z轴调整装置，设置于所述机座上，以进行Z轴向的往复位移者；

一受测平台，设置于所述的Z轴调整装置上，具有多个受测凹槽。

所述的多连板检测机台，其中，所述位移检测装置的位移轨道组具有一设置于所述机座顶面上并沿X轴向设置的X轴轨道及一设置于所述X轴轨道上并沿Y轴向设置的Y轴轨道，且所述Y轴轨道并能够沿所述X轴轨道进行X轴向的往复滑移，而所述检测微调模块设置于所述位移轨道组的Y轴轨道上，以沿所述Y轴轨道进行Y轴向的往复滑移。

所述的多连板检测机台，其中，所述检测微调模块的各微调机构分别具有一驱动单元、一微调单元及一微调连结座，所述驱动单元为一微型马达，设置于所述基座上，所述微调单元设置于所述基座上，并与所述驱动单元连结，以受所述驱动单元的带动而能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述微调连结座设置于所述微调单元上，以受所述微调单元的带动而位移，并由所述微调连结座供所述检测平台设置。

所述的多连板检测机台，其中，所述各Z轴调整装置分别具有一底座、一第一滑块、一第二滑块、一动力单元及一传动单元；所述底座设置于所述机座的顶面上，所述底座具有一底板及一直立地连接于所述底板一侧的立板，所述第一滑块滑接于所述底座的底板上，并能够沿所述底板进行往复的滑移，所述第一滑块的顶面具有一第一斜面，所述第二滑块滑接于所述底座的立板上，并能够沿所述立板进行往复的滑移，所述第二滑块的底面具有一第二斜面，且所述第二斜面与所述第一滑块的第一斜面进行滑接，以受所述第一滑块的滑移作用，而使所述第二滑块得以进行Z轴的往复滑移，所述动力单元置于所述底座的底板上，用以产生一旋转动力并加以输出，所述传动单元一端与所述动力单元连结，而传动单元另一端则与所述第一滑块连结，当传动单元受所述动力单元的带动而进行轴转时，能够带动所述第一滑块进行往复的滑移；所述受测平台设置于所述第二滑块上。

所述的多连板检测机台，其中，所述Z轴调整装置更具有一立柱，所述立柱设置于所述机座顶面上，以供所述底座设置于所述立柱上。

所述的多连板检测机台，其中，所述受测平台具有多个依预定间距呈横纵向排列设置的受测凹槽，以供多个欲进行检测的受测元件加以容置。

本发明的有益效果是：能减少检测时所需的时间及程序，能提升检测的准确性。

附图说明

图1为本发明多连板检测机台的一较佳实施例的立体组合图；

图2为所述多连板检测机台的立体大部组合图；

图3为所述多连板检测机台的作动示意图；

图4为所述多连板检测机台的作动示意图；

图5为所述多连板检测机台的局部构件立体组合图；

图6为所述多连板检测机台的局部构件立体组合图；

图7为所述多连板检测机台的局部构件立体组合图；

图8为所述多连板检测机台的局部构件平面结构示意图；

图9为所述多连板检测机台的作动示意图。