[发明专利]一种氮化物发光二极管及其制备方法

权利要求书

1.一种氮化物发光二极管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

在衬底上依次生长N型氮化物层、发光层、P型氮化物层；

去除部分P型氮化物层和发光层，直至暴露出N型氮化物层；

在P型氮化物表面形成电流阻挡层；

在P型氮化物层和暴露出的N型氮化物层的表面形成透明电极；

在透明电极表面制作焊线电极，并且P型氮化物层表面的焊线电极的位置与P型氮化物层表面的电流阻挡层位置相对应。

2.如权利要求1所述的氮化物发光二极管的制备方法，其特征在于，在制作透明电极的同时，还在P型氮化物层和暴露出的N型氮化物层的交界处形成PN结保护层。

3.如权利要求2所述的氮化物发光二极管的制备方法，其特征在于，PN结保护层和电流阻挡层材料各自独立地选自于氧化硅、氮化硅、氧化钛、和氧化铝中的一种或多种的组合。

4.如权利要求1所述的氮化物发光二极管的制备方法，其特征在于，透明电极的材料选自于Ni/Au、ITO、和ZnO中的一种或多种的组合。

5.如权利要求1所述的氮化物发光二极管的制备方法，其特征在于，采用湿法腐蚀工艺形成透明电极，所述湿法腐蚀所采用的腐蚀液选自于FeCl₃和HCl混合溶液，王水、CH₃COOH和王水混合溶液，I₂和KI混合溶液，以及HF和NH₄F混合溶液中的任意一种。

6.如权利要求1所述的氮化物发光二极管的制备方法，其特征在于，焊线电极的材料选自于Cr/Au、Cr/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Al、Ti/Au、Ti/Al/Ti/Al、和Ti/Al/Cr/Au中的任意一种。

7.一种氮化物发光二极管，包括：衬底、在衬底表面逐层设置的缓冲层、N型氮化物层、发光层、和P型氮化物层，发光层和P型氮化物层设置有窗口以暴露出部分的N型氮化物层，P型氮化物层和暴露出的N型氮化物层表面设置有导电薄膜，导电薄膜的表面设置有焊线电极，其特征在于：

在P型氮化物层和导电薄膜，与焊线电极对应的位置进一步设置有调节电流分布的电流阻挡层，以使流过P型氮化物层的电流分布更为均匀。

8.如权利要求7所述的氮化物发光二极管，其特征在于，在P型氮化物层和暴露出的N型氮化物层的交界处设置有PN结保护层以降低PN结的侧向漏电。