[发明专利]用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针

权利要求书

1.用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：包含了探针本体和探针支撑，探针支撑又包含支撑结构和空间定位装置；所述的探针本体采用钨丝，钨丝头部的外层套装单孔陶瓷管，单孔陶瓷管外套装多孔陶瓷管，多孔陶瓷管外套装不锈钢管；钨丝尾部焊接屏蔽同轴电缆线的中心信号线，焊接点外层包覆热缩管，热缩管外包覆多层防高温屏蔽层；屏蔽同轴电缆线送入探针支撑内，并从底部小孔穿出，与等离子体装置之外的电路系统连接。

2.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：所述的支撑结构由不同直径的阶梯型不锈钢管弯折成“？”形状，底部螺纹连接空间定位装置，并且在空间定位装置底部的位置设置小孔。

3.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：所述的热缩管一端接触单孔陶瓷管，另一端悬空，延伸到至少包覆中心信号线。

4.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：所述的多层防高温屏蔽层一端与多孔陶瓷管接触，另一端悬空，延伸到至少包覆屏蔽同轴电缆线。

5.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：所述钨丝与单孔陶瓷管之间、单孔陶瓷管与多孔陶瓷管之间，多孔陶瓷管与不锈钢管之间的缝隙采用高温胶密封。

6.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：所述多孔陶瓷管外的不锈钢管尾部插入探针支撑的支撑结构内，并将一个Φ10紧固螺母从探针头部套入，再套入内孔阶梯型的紧固转接件，最后套入Φ8紧固螺母，实现探针本体与支撑结构的固定。

7.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：探针本体采用0.3mm的钨丝。

8.根据权利要求1所述的用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，其特征是：探针本体的头部投影与空间定位装置的旋转中心重合，并且探针水平设置，与旋转台平行。