[发明专利]NPN结构的激光光伏电池及其制备方法有效
申请号: | 201310039660.6 | 申请日: | 2013-01-31 |
公开(公告)号: | CN103268893A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 赵春雨;董建荣;于淑珍;赵勇明;李奎龙;孙玉润;曾徐路;杨辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/0693;H01L31/18 |
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地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | npn 结构 激光 电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:所述光伏电池包括依次形成于半绝缘衬底上反向P/N结、P型导电层、P/N结电池、N型窗口层和N型接触层,所述反向P/N结包括依次形成于所述半绝缘衬底上的N型层和P型层,所述P/N结电池包括沿远离半绝缘衬底方向依次设置的P型吸收层和N型吸收层。
2.根据权利要求1所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:还包括位于所述P型导电层和P/N结电池之间的势垒层。
3.根据权利要求2所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:所述势垒层为P型的AlGaAs((Al)GaInP)。
4.根据权利1至3任一所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:所述的半绝缘衬底、P型层、N型层、P型导电层、P型吸收层、N型吸收层以及N型接触层的材料均为GaAs。
5.根据权利1至5任一所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:所述窗口层的材料为AlGaAs((Al)GaInP)。
6.根据权利要求1所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:还包括隔离槽,所述隔离槽将所述光伏电池分隔成多个电池单元,电池单元之间串联连接。
7.根据权利要求6所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:所述的隔离槽分别贯穿所述接触层、窗口层、P/N结电池、P型导电层和反向P/N结。
8.根据权利要求1所述的NPN结构的激光光伏电池,其特征在于:还包括正电极和负电极,所述正电极形成于所述 导电层上,所述负电极与所述接触层接触。
9.权利要求2所述的NPN结构的激光光伏电池的制备方法,其特征在于,包括:
(1)在半绝缘衬底上生长N型层和P型层形成反向P/N结;
(2)在上述P型层上依次生长P型导电层,并在该P型导电层上生长P型势垒层;
(3)在上述P型势垒层上依次生长P型吸收层和N型吸收层形成P/N结;
(4)在上述P/N结上生长N型窗口层;
(5)在上述N型窗口层上生长N型接触层用作欧姆接触;
(6)按照电池标准工艺,在由前述步骤形成的光伏电池基体上制备隔离槽、正电极、负电极、减反射层以及电极引线,获得目标产品。
10.根据权利要求9所述的NPN结构的激光光伏电池的制备方法,其特征在于:所述导电层为P型掺杂浓度1×1018 cm-3以上的GaAs导电层;所述势垒层为掺杂浓度1×1018 cm-3以上的P型AlGaAs((Al)GaInP) 势垒层;所述N型窗口层为掺杂浓度在1×1018 cm-3以上的窗口层;所述N型接触层为掺杂浓度在2×1018 cm-3以上的GaAs接触层。
11.根据权利要求9所述的NPN结构的激光光伏电池的制备方法,其特征在于:所述N型窗口层为AlxGa1-xAs(x≥0.2)或Ga0.51In0.49P。
12.根据权利要求9所述的NPN结构的激光光伏电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(6)中,依次刻蚀N型接触层、N型窗口层、P/N结电池、P型势垒层、P型导电层和反向P/N结直至露出半绝缘衬底以形成隔离槽,而后在该隔离槽中填充绝缘材料。
13.根据权利要求9所述的NPN结构的激光光伏电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(6)中,依次刻蚀N型接触层、N型窗口层、P/N结电池、P型势垒层,直至露出P型导电层以形成正电极窗口,而后再经该正电极窗口于P型导电层上制备正电极,在N型接触层上制备负电极。
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