[发明专利]MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统及方法

权利要求书

1.一种MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于，所述MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统包括：

用于吸附所述MOCVD设备的尾气颗粒的一级颗粒吸附系统；

冷却系统，设置于所述一级颗粒吸附系统中，用以与所述一级颗粒吸附系统结合实现对所述MOCVD设备的尾气的快速降温和颗粒吸附；

二级颗粒吸附系统，与所述一级颗粒吸附系统相连，用以实现所述MOCVD设备的尾气颗粒的再吸附。

2.根据权利要求1所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于：所述一级颗粒吸附系统为第一不锈钢腔室；所述第一不锈钢腔室内设置有金属过滤网丝；所述第一不锈钢室设有一级过滤进气口和一级过滤排气口；所述一级过滤进气口连接在所述MOCVD设备的反应室后端。

3.根据权利要求2所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于：所述冷却系统为一循环水水管，所述循环水水管内外交替缠绕于所述第一不锈钢腔室的侧壁。

4.根据权利要求2所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于：所述冷却系统包括一内循环水水管，所述内循环水水管均匀分布内置于所述第一不锈钢腔室中。

5.根据权利要求4所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于：所述冷却系统还包括一外循环水水管，所述外循环水水管均匀分布设置于所述第一不锈钢腔室的外表面；所述外循环水水管的一端口与所述内循环水水管的一端口相接。

6.根据权利要求3或5所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于：所述循环水水管的接头采用swagelok快插头直接接在所述MOCVD设备的循环水预留插口；所述内循环水水管的另一端口与所述外循环水水管的另一端口均采用swagelok快插头直接接在所述MOCVD设备的循环水预留插口。

7.根据权利要求2至5任意一项所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统，其特征在于：所述二级颗粒吸附系统为第二不锈钢腔室；所述第二不锈钢腔室内设有滤芯；所述第二不锈钢室设有二级过滤进气口和二级过滤排气口，所述二级过滤进气口通过波纹管与所述一级过滤排气口相接；所述二级过滤排气口连接在所述MOCVD设备的机械泵前端。

8.一种MOCVD设备的尾气颗粒过滤方法，其特征在于，所述MOCVD设备的尾气颗粒过滤方法包括：

步骤一，利用冷却系统和一级颗粒吸附系统相结合的方式对所述MOCVD设备的尾气同时进行降温和一级颗粒吸附过滤；

步骤二，利用二级颗粒吸附系统对经过一级颗粒吸附过滤后的尾气进行二级颗粒吸附过滤。

9.根据权利要求8所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤方法，其特征在于：所述冷却系统设置于所述一级颗粒吸附系统中，所述一级颗粒吸附系统还包括填充在所述冷却系统缝隙中的金属过滤网丝；所述MOCVD设备的尾气在经过所述一级颗粒吸附系统中的冷却系统和金属过滤网丝时实现降温和一级颗粒吸附过滤；再经过所述二级颗粒吸附系统中的滤芯实现二级颗粒吸附过滤。

10.根据权利要求8至9任意一项所述的MOCVD设备的尾气颗粒过滤方法，其特征在于：所述冷却系统为循环水水管，所述循环水水管中的循环水由所述MOCVD设备的恒温水箱提供，循环水由所述恒温水箱流入到循环水水管，再回流到所述恒温水箱中。