[发明专利]包括沉积掩模的制造装置有效
| 申请号： | 201310041989.6 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103243294B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 金容焕 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 王占杰,张川绪 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包括 沉积 制造 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种包括沉积掩模的制造装置，所述装置包括：
夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部；
夹持销，位于夹持器中，用于插入到销孔中；以及
提升器，用于提升夹持销。
2.根据权利要求1所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，所述夹持器包括：
上夹持器，用于接触分开掩模片的端部的上侧；以及
下夹持器，用于接触分开掩模片的端部的下侧，并且具有用于将分开掩模片的端部附贴在下夹持器上的抽吸槽。
3.根据权利要求2所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，夹持销在抽吸槽中。
4.根据权利要求3所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，用于提升夹持销的提升孔位于下夹持器中。
5.根据权利要求4所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，用于容纳夹持销的插入槽位于上夹持器中。
6.根据权利要求4所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，提升器通过提升孔结合到夹持销。
7.根据权利要求3所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，抽吸槽结合到用于附贴分开掩模片的端部的真空。
8.根据权利要求1所述的包括沉积掩模的制造装置，其中，沉积掩模包括多个分开掩模片。
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