[发明专利]耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置

说明书

技术领域

本发明属于漏孔装置，具体为一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置。

背景技术

漏孔一般分为小孔、缺陷或缝隙以及渗透元件或漏气装置，漏孔的标定通常使用压力容积法或质谱比较法。对于小孔、缺陷或缝隙以及渗透元件而言，漏率值一般是固定的，无法宽范围内调节，因而进行漏率的连续调节必须设计专用的漏孔装置。对于漏孔的漏率需要使用压力容积法或质谱比较法等进行标定，通常需要使用专用装置在实验室进行，标定漏率后再拆下安装至需要漏孔的真空设备或装置。因此一般漏孔无法进行宽范围的调节并在现场进行标定。同时如果真空设备或装置内存在腐蚀气体，常会腐蚀漏孔，导致腐蚀气体从漏孔泄漏，常见漏孔通常无法用于腐蚀环境。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置。

本发明的技术方案为：一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括依次连接的Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积；其中，Ⅰ号真空计与Ⅲ号阀门、标定容积处于Ⅱ号阀门和微调阀之间；气源组件包括设置在主管道上的Ⅳ号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组，在稳压罐上还连接有Ⅱ号真空计，稳压罐与气源、稳压罐与Ⅱ号真空泵机组之间分别设置有Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门，气源连接Ⅲ号真空计。

本发明所提供的一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，可选择漏入的气体介质，能够在10^-6Pa·m³/s到10^-2Pa·m³/s的宽范围内进行漏率的准确调节，可实时在线标定，并可应用于腐蚀环境。

附图说明

图1为本发明一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置的结构示意图。

其中：

1主管道          2抽空组件         3漏率调节与标定组件

4气源组件        5真空设备         6总阀门

7Ⅰ号阀门        8冷阱            9Ⅰ号真空泵机组

10Ⅱ号阀门       11微调阀         12Ⅰ号真空计

13Ⅲ号阀门       14标定容积       15Ⅳ号阀门

16稳压罐        17Ⅱ号真空计      18Ⅴ号阀门 

19气源          20Ⅲ号真空计      21Ⅵ号阀门

22Ⅱ号真空泵机组。

具体实施方式

下面，结合附图对本发明一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置做进一步说明：

如图1所示，一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置（以下简称漏孔装置），包括主管道1，和与主管道1连通的抽空组件2、漏率调节与标定组件3、气源组件4。

真空设备5连接在漏孔装置主管道1的前端，在主管道1上、邻近真空设备5设置有总阀门6，用于实现漏孔装置与真空设备5的连接与断开。

抽空组件2位于主管道1的一侧，包括依次连接的Ⅰ号阀门7、冷阱8和Ⅰ号真空泵机组9。

漏率调节与标定组件3包括设置在主管道1上的Ⅱ号阀门10、微调阀11，以及依次连接的Ⅰ号真空计12、Ⅲ号阀门13、标定容积14；其中，Ⅰ号真空计12与Ⅲ号阀门13、标定容积14分别位于主管道1的两侧，处于Ⅱ号阀门10和微调阀11之间。

在主管道1的末端设置有气源组件4，气源组件4包括设置在主管道1上的Ⅳ号阀门15、稳压罐16，以及与稳压罐16连接的气源19、Ⅱ号真空泵机组22，在稳压罐16上还连接有Ⅱ号真空计17，稳压罐16与气源19、稳压罐16与Ⅱ号真空泵机组22之间分别设置有Ⅴ号阀门18、Ⅵ号阀门21，气源19连接Ⅲ号真空计20。

漏孔装置的各部件之间均通过管道连通，漏孔装置与真空设备采用过渡件或快速连接法兰形式实现连接；装置材料选用不锈钢，接口之间的橡胶垫采用耐腐蚀的氟橡胶，使得漏孔装置可以应用于腐蚀环境。

本发明一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置的使用方法为：

（ⅰ）连接整套漏孔装置并接入真空设备5，对真空设备5以及漏孔装置进行检漏；