[发明专利]一种线性等离子体源

权利要求书

1.一种线性等离子体源，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；

进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；

电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；

电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。

2.根据权利要求1所述的线性等离子体源，其特征在于，所述进气系统还包括：

外部管道，所述外部管道位于所述电磁线圈下方，邻接所述等离子出口，用于释放易污染等离子体源的工艺气体；

所述内部管道用于释放易电离且不易污染等离子体源的工艺气体。

3.根据权利要求2所述的线性等离子体源，其特征在于，

所述内部管道具有多个气孔，所述易电离且不易污染等离子体源的工艺气体为氨气；

所述外部管道采用金属多孔材料制成，所述易污染等离子体源的工艺气体为硅烷；

所述进气系统还包括安装在外壳上，用于固定外部管道的U形槽。

4.根据权利要求1所述的线性等离子体源，其特征在于，

所述电极系统包括两个平行的电极板，所述电极板位于内部管道的两侧；

所述电极系统还包括电极水冷管道，安装在每个电极板的内部。

5.根据权利要求1所述的线性等离子体源，其特征在于，

所述电磁系统还包括安装在电磁两侧的电磁水冷管道。

6.根据权利要求2所述的线性等离子体源，其特征在于，所述进气系统还包括：

第一管道系统，所述第一管道系统包括与所述易污染等离子体源的工艺气体源连接的第一主管道，与所述第一主管道连接的三通，与三通连接的两条第一分流管道，所述两条第一分流管道分别与外部管道的首尾连接。

7.根据权利要求1，2或6所述的线性等离子体源，其特征在于，所述进气系统还包括：

第二管道系统，所述第二管道系统包括与所述易电离且不易污染等离子体源的工艺气体源连接的第二主管道，与所述第二主管道连接的三通，与三通连接的两条第二分流管道，所述两条第二分流管道分别与内部管道的首尾连接。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的线性等离子体源，其特征在于，还包括：

低频电源，用于向电极板供电，所述低频电源的频率为100至500KHz。

9.根据权利要求4所述的线性等离子体源，其特征在于，所述电极系统还包括安装在两个平行的电极板之间的滚轮。

10.根据权利要求1或4所述的线性等离子体源，其特征在于，所述外壳还包括用于固定电极板的支架。