[发明专利]一种测试双氧水中不挥发物含量的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试双氧水性能的方法，尤其是涉及一种测试双氧水中不挥发物含量的方法。

背景技术

超净高纯电子化产品是超大规模集成电路制造的关键集成性原材料，其纯度、洁净度对成品率、电性能、可靠性等都有十分重要的影响，现今的各个国家都对电子化学品的质量标准进行了严格的规定，对产品的洁净度、尘埃颗粒含量等也做了严格的规定。超净高纯双氧水是半导体用电子化学品之一，主要应用于硅片的氧化、清洗等工艺，而且超净高纯双氧水除了做电子化学品用在超大规模集成电路领域外，还可以用于医学消毒、食品等行业。现在通常采用双氧水分解前后的浓度变化测试双氧水的稳定性，但是当浓度变化不大时不能很好地反映双氧水的稳定度。因此对于双氧水的性能进行精确测试是十分重要的。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种提高测试的精度的测试双氧水中不挥发物含量的方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种测试双氧水中不挥发物含量的方法，利用铂金碗来测试双氧水的不挥发物含量，包括以下步骤：将待测的双氧水置于已经恒重的铂金碗中，然后将其置于沸水浴中进行蒸干处理，再将铂金碗置于烘箱中烘干至恒重并检测铂金碗的重量，与测试前的铂金碗的重量进行比较即测试得到双氧水中不挥发物的含量。

所述的铂金碗在沸水浴中处理的时间为10-15min。

所述的烘箱的温度为105-110℃。

与现有技术相比，本发明利用铂金碗来测试双氧水的不挥发物含量，由于铂金碗和双氧水的接触面大，在不影响测试速度的情况下增加双氧水的测试量可以在很大程度上提高测试的精度。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。

实施例

一种测试双氧水中不挥发物含量的方法，利用铂金碗来测试双氧水的不挥发物含量，包括以下步骤：将待测的双氧水置于已经恒重的铂金碗中，然后将其置于沸水浴中进行蒸干处理10-15min，再将铂金碗置于烘箱中，控制烘箱的温度为105-110℃，将铂金碗烘干至恒重并检测铂金碗的重量，与测试前的铂金碗的重量进行比较即测试得到双氧水中不挥发物的含量。由于铂金碗和双氧水的接触面大，在不影响测试速度的情况下增加双氧水的测试量可以在很大程度上提高测试的精度。