[发明专利]一种抗ESD能力的测试装置及方法无效
申请号: | 201310044261.9 | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN103105558A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 宋良奎;刘东;周自立;姚伏恒;刘海峰;周卫华 | 申请(专利权)人: | 深圳市中显微电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 广东星辰律师事务所 44263 | 代理人: | 李启首 |
地址: | 518083 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 esd 能力 测试 装置 方法 | ||
1.一种抗ESD能力的测试装置,包括ESD测试平台、被测器件和静电枪,其特征在于,还包括定位装置,所述定位装置位于ESD测试平台的上方,所述被测器件置于定位装置内,通过所述定位装置将静电枪的释放端与被测器件表面的测量距离固定在一定标准值。
2.根据权利要求1所述的抗ESD能力的测试装置,其特征在于,所述定位装置包括可升降支架、平面限位板及高度控制装置,所述可升降支架的下端与ESD测试平台连接,所述可升降支架的上端与平面限位板连接;所述高度控制装置安装于可升降支架的侧面,并通过可升降支架与平面限位板连接。
3.根据权利要求2所述的抗ESD能力的测试装置,其特征在于, 所述平面限位板的边角处分别设置有螺纹孔,所述可升降支架的上端通过与螺纹孔相拧合将平面限位板固定于可升降支架的上方;所述平面限位板的中间设有限位固定通孔,通过限位固定通孔固定静电枪释放段与被测器件表面的测量距离。
4.根据权利要求2所述的抗ESD能力的测试装置,其特征在于, 所述可升降支架内还设有齿轮装置,所述高度控制装置与齿轮装置连接。
5.根据权利要求2或4所述的抗ESD能力的测试装置,其特征在于,所述高度控制装置为摇杆或旋钮,可结合使用需要安装在可升降支架侧面的任意位置。
6.一种抗ESD能力的测试方法,包括:
步骤a:在ESD测试平台的上方设置定位装置,并将被测器件置于定位装置内;
步骤b:通过定位装置将静电枪的释放端与被测器件表面的测量距离固定在一定标准值;
步骤c:击发静电枪对被测器件进行测量。
7.根据权利要求6所述的抗ESD能力的测试方法,其特征在于,在所述步骤b前还包括:将静电枪的释放端放入平面限位板上的限位固定通孔中,使静电枪的释放端与被测器件的位置对应,并通过限位固定通孔固定静电枪的扳手前端。
8.根据权利要求7或8所述的抗ESD能力的测试方法,其特征在于,所述步骤b还包括:以可升降支架为支撑,通过高度控制装置带动齿轮装置转动来控制可升降支架的升缩进而调整平面限位板的高度。
9.根据权利要求8所述的抗ESD能力的测试方法,其特征在于,所述步骤c后还包括:所述高度控制装置为摇杆或旋钮,可结合使用需要安装在可升降支架侧面的任意位置。
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