[发明专利]涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种涂布装置，该涂布装置将涂布液涂布至有机电致发光(Electro Luminescence，EL)显示装置用玻璃(glass)基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示面板(Plasma Display Panels，PDP)用玻璃基板、太阳电池用基板、电子纸(electronic paper)用基板或半导体制造装置用掩模(mask)基板等基板。

背景技术

以往使用的涂布装置是借由扫描喷出涂布液的喷嘴(nozzle)，将涂布液涂布至基板，近年来，在将包含像素形成材料的涂布液涂布至平面显示装置用的玻璃的基板时，也研究了应用方面。典型的例子是使喷嘴向沿着基板上所形成的间隔壁的主扫描方向移动，每当朝向主扫描方向的移动完成时，使基板向与主扫描方向垂直的副扫描方向移动，借此，将涂布液涂布成以规定的间距(pitch)排列的条纹(stripe)状。在此种涂布装置中，利用具有可挠性的涂布液管(tube)，将涂布液的供给源与喷嘴之间予以连接，借此，能够总是将涂布液供给至移动的喷嘴。另外，在涂布装置中，也可将多个喷嘴排列设置于喷出部，使喷出部向与喷嘴的排列方向交叉的主扫描方向移动，借此，在短时间内将涂布液涂布至基板上。

再者，在专利文献1中揭示了如下的内容：将多根涂布液管配置在气体供给管的周围，由捆束材紧贴着多根涂布液管的整个外周，将该外周予以覆盖，借此，捆束所述管而构筑管群。借由以所述方式构筑管群，将涂布液涂布至基板上时的变形受到抑制，实现了将涂布液均一地涂布至基板上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2009-131735号公报

发明内容

发明所欲解决的课题

此外，在专利文献1所揭示的涂布装置中，由于需要柔软性，因此，构筑管群的涂布液管使用了特富龙(Teflon)(注册商标)系材料。另外，所述装置所涂布的涂布液使用了有机电致发光(EL，Electro Luminescence)材料，一般而言，有机EL材料存在如下的问题：发光寿命会因与氧发生接触而缩短。因此，在使用专利文献1所揭示的装置来涂布有机EL材料的情况下，氧会穿透特富龙(注册商标)系材料所制作的涂布液管，从而有可能会对有机EL材料产生不良影响(例如使有机EL材料的寿命缩短)。

本发明是鉴于所述问题而成的发明，本发明的目的在于在如下的涂布装置中，防止供给途中的涂布液与氧等发生接触，而所述涂布装置一面使包括多个喷出口的喷出部高速地移动，一面进行涂布。

解决课题的技术手段

第一技术方案是将涂布液涂布至基板的涂布装置，包括：基板保持部，水平地保持着基板；喷出部，从多个喷出口向基板喷出涂布液，所述多个喷出口沿着与基板呈平行的副扫描方向排列；主扫描机构，包括：引导部，向与副扫描方向垂直且与基板呈平行的主扫描方向延伸；及滑动件，一面卡合于引导部，一面将气体喷出至该滑动件与引导部之间，借此，以非接触状态支撑于引导部；且所述主扫描机构使安装于滑动件的喷出部向主扫描方向移动；副扫描机构，每当喷出部的朝向主扫描方向的移动完成时，使基板相对于喷出部，向副扫描方向相对地移动；管群，以一体地将气体供给管与多个涂布液管予以覆盖的方式，利用捆束材来捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而成，所述气体供给管具有可挠性且将气体供给至滑动件，所述多个涂布液管各自具有可挠性且将涂布液供给至喷出部；连接容器，与管群的处于喷出部相反侧的端部连结；供气部，将惰性气体供给至连接容器内；涂布液供给部，将涂布液供给至涂布液管；以及气体供给部，将气体供给至气体供给管，供气部将供给至连接容器内的惰性气体供给至间隙，该间隙是因捆束气体供给管与多个涂布液管而形成的间隙。

在以所述方式构成的发明中，将惰性气体经由连接容器而供给至具有可挠性的涂布液管与管群之间所形成的间隙，所述管群是捆束气体供给管而成的管群，借此，可在涂布液管的周围形成由惰性气体产生的层，因此，可防止氧穿透涂布液管而使在该管中流动的涂布液暴露于氧。借此，可防止因氧而使涂布液的寿命缩短等。