[发明专利]可摇动式L型包网挡板

说明书

 

技术领域

本发明涉及一种可摇动式L型包网挡板。

 

背景技术

  现有技术中，在磁控溅射镀膜的真空腔室中，对于旋转靶一般采用包网的L型挡板来挡住溅射物，该类L型挡板通常是由两块相垂直设置的板体再包裹不锈钢网而形成。该类L型挡板在使用一段时间后，由于表面积渣，当真空腔室中的温度和真空度发生变化时，很容易造成崩渣和掉渣的现象，极易导致待磁控溅射镀膜的产品受到损害而成为废品，严重地影响着产品的生产效率，同时也造成生产成本的上升和产品不良率的升高。

 

发明内容

本发明的目的是提供一种可摇动式L型包网挡板，在真空状态下可方便地清洁该包网挡板上的积渣，有效地避免了生产过程中出现崩渣、掉渣的现象。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种可摇动式L型包网挡板，所述挡板包括不锈钢材料制成的第一板体和第二板体，所述第一板体、所述第二板体的外侧周部上分别包裹有不锈钢网，所述第一板体、所述第二板体通过多个铰链相转动连接，所述多个铰链沿着所述第一板体、所述第二板体的长度延伸方向相间隔排布。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：本发明的可摇动式包网挡板，其中通过设置铰链将外侧周部包有不锈钢网的第一板体和第二板体转动地连接起来，当该L型包网挡板在真空腔室中使用一段时间后，磁控溅射物附着在不锈钢网上形成的积渣达到一定值，这时通过传动部件传递驱动力使得第一板体与第二板体发生相对旋转，第一板体和第二板体便发生相对撞击，使得不锈钢网上的积渣即被拍打下来，实现了在真空状态下对该包网挡板上积渣的清洁，有效地避免了生产过程中出现崩渣、掉渣的现象，保证了磁控溅射镀膜产品的质量，提高了产品的生产质量和生产良率。

 

附图说明

附图1为本发明的L型包网挡板的主视结构示意图；

附图2为本发明的L型包网挡板的左视放大示意图。

 

具体实施方式

下面结合附图来对本发明的技术方案作进一步的阐述。

参见图1、图2所示的一种可摇动式L型包网挡板，该挡板包括第一板体1和第二板体2，第一板体1和第二板体2均为不锈钢材料制成，第一板体1和第二板体2的外侧周部上分别包裹有不锈钢网（图中未示出），其目的是为了提高第一板体1和第二板体2对磁控溅射物的附着力。第一板体1和第二板体2通过多个铰链3相转动连接，这多个铰链沿着第一板体1和第二板体2的长度延伸方向相间隔排布，第一板体1和第二板体2可通过铰链3而发生相对转动。

将该L型包网挡板设置在真空腔室中时，应设置传动部件与该L型包网挡板上的第一板体1、第二板体2中的一个部件传动连接，在磁控溅射镀膜时，第一板体1和第二板体2应保持相对垂直的状态；当该L型包网挡板在真空腔室中使用一段时间后，磁控溅射物附着在不锈钢网上形成的积渣达到一定值，这时通过传动部件传递驱动力使得与其连接的第一板体1或第二板体2，使其绕铰链3旋转，这样便使得第一板体1和第二板体2之间发生相对撞击，第一板体1和第二板体2外侧周部不锈钢网上的积渣即被拍打下来，实现了在真空状态下对该包网挡板上积渣的清洁，有效地避免了生产过程中出现崩渣、掉渣的现象，保证了磁控溅射镀膜产品的质量，提高了产品的生产质量和生产良率。

 

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。