[发明专利]滤光器器件及滤光器器件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及滤光器器件及滤光器器件的制造方法。

背景技术

在现有技术中已知如下的干涉滤波器：在一对基板互相对置的面上分别隔着规定的间隙而相对配置有反射膜。另外，已知有将这种干涉滤波器收容在壳体内的滤光器器件（例如，参照专利文献1以及专利文献2）。

该专利文献1中记载的红外线式气体检测器（滤光器器件）具备板状的基座（底部基板）和具有圆筒状的盖帽的外壳（壳体）。在该壳体中，底部基板的周边部分与盖帽的圆筒一端部通过焊接或者粘结而连接，在底部基板与盖帽之间设有收容法布里-珀罗滤波器（干涉滤波器）的空间。在该滤光器器件中，干涉滤波器被粘结固定于检测部，该检测部被粘结固定在罐状外壳（can package）的基座上。

在专利文献2中记载有如下的滤光器器件（光电子器件）：将可调光学滤波器（干涉滤波器）固定并收容在外壳（壳体）内部。在该滤光器器件中，干涉滤波器被配置在安装于壳体的头部（header）（底部基板）上面的垂直管组（stack）内。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开2008-70163号公报

专利文献2：日本特开2005-510756号公报

如上所述，虽然在专利文献1以及专利文献2中记载有将干涉滤波器收容以及固定在壳体内部的内容，但具体的方法尚未记载。

例如，有可能因为由干涉滤波器与成为固定对象的底部基板之间的热膨胀系数的差异所产生的影响而使反射膜翘曲、或者在用粘结剂进行固定的情况下，由于由粘结剂硬化时的收缩所产生的影响而使反射膜翘曲。如果干涉滤波器的反射膜翘曲，则就具有对干涉滤波器的光学特性造成影响的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以抑制干涉滤波器的反射膜的翘曲的滤光器器件以及滤光器器件的制造方法。

本发明的滤光器器件具备：干涉滤波器以及收容所述干涉滤波器的壳体，所述干涉滤波器具备第一基板、第二基板、第一反射膜以及第二反射膜，所述第二基板与所述第一基板相对配置且与所述第一基板接合，所述第一反射膜设置在所述第一基板上，所述第二反射膜设置在所述第二基板上且隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对，所述壳体具备能配置所述干涉滤波器的底部基板，在所述第二基板与所述底部基板之间配置有将所述第二基板固定在所述底部基板上的固定部件，在从基板厚度方向俯视观察所述第二基板的情况下，所述第二基板在除了设置有所述第二反射膜的区域以外的一处通过所述固定部件固定。

依照本发明，具备干涉滤波器和收容该干涉滤波器的壳体。该壳体具备能配置所述干涉滤波器的底部基板。在从基板厚度方向俯视观察第二基板的情况下，干涉滤波器的第二基板在除了设有第二反射膜的区域以外的一处通过固定部件被固定。在本发明中，基于固定部件的固定地点为一处这种情况被作为除了遍及第二基板与底部基板之间的整个面配置固定部件并固定的情况、在互相分离的多处进行固定的情况以外的情况。例如，在上述俯视观察中，在被配置在隔着第二反射膜相对的位置的情况下，就成为在互相离散的多处的固定。另外，在本发明中，基于固定部件的固定地点为一处这种情况包括多点的固定部件被集中配置在一处并固定的情况。

在第二基板与底部基板之间的整个面上配置固定部件、或者在分离的多处配置固定部件的滤光器器件中，由于由第二基板与底部基板的热膨胀系数的差异所产生的应力就易于作用于整个第二基板上。另外，在使用粘结剂作为固定部件的一个示例时，由使粘结剂硬化时的收缩所产生的应力易于作用于第二基板。并且，由于第二基板与第一基板接合，因而应力也易于作用于第一基板。如果应力如此地进行作用，则第二基板的第二反射膜、第一基板的第一反射膜就会翘曲，干涉滤波器的光学特性就会受到影响。

另一方面，依照本发明的滤光器器件，如上所述，第二基板与底部基板通过固定部件固定在一处。因此，由热膨胀系数的差异所产生的应力、粘结剂硬化时的收缩应力就难以作用于第二基板、第一基板。其结果，滤光器器件就能够抑制第二反射膜、第一反射膜的翘曲。

在本发明的滤光器器件中，优选在从基板厚度方向俯视观察所述第二基板的情况下，所述第二基板在与所述底部基板相对的面的外周部被固定。

在本发明中，在从基板厚度方向俯视观察第二基板的情况下，第二基板与底部基板相对的面的外周部被固定。